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摘要 cfLLFPhv)
r6m^~Wq!} F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 &K9;GZS? JmI%7bH@ 建模任务 B@,r8)D
 @Po5AK3cy
系统构建块-扫描源 d 9f7 &  \H] |5fp* How to Set Up a Scanning Source ) O0Cz n )0"Q
h 系统构建块-透镜系统组件 .a*?Pal@@  ')uYI;h9 系统构建块-参数耦合 >;fVuy  :;k?/KU7
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion \<LCp;- K
)(}[ S:` 系统构建块-失真分析仪 G ]K1X"W?
 nQF& ^1n 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 9z7_D_yN2
 i GW|j>N 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 I\@r ~]+y %rW}x[M%w?
通用探测器和探测器附加组件 RM2Ik_IH[l \((iR>^|
 |a( KVo
 ]>n{~4a Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: jl, gqMn"V ?JrUZXY Universal Detector ^h[6{F~ J b;i*}4h ! 总结-组件… 8em'7hR9
 V%,,GmiU]
 BIx*t9wA 系统观感 k< 9,Y pa
^{Y, `F 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 !nm Z"n|}p
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 Vk6 c^/v 性能评估-点位偏差 >q}3#TvP@
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 *lfjsrPu 性能评估-光斑直径测量 k[Em~> m uyj!$}4  d^v#x[1msZ
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 z|g2Q#$-\S
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VirtualLab Fusion技术 &CG 94
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