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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 w >2sr^!y  
                                             +%v1X&_\  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 t7l{^d_L  
    Um}AV  
    建模任务 $|xSM2  
    7Q]c=i cg  
    系统构建块-扫描源                                                     7nNNc[d*=  
    d!w3LwZ  
    How to Set Up a Scanning Source *L9v(Kc  
                                                                                   F)KR8 (  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 MT"&|Og  
    Q?;Tc.O"/  
    系统构建块-参数耦合 tu Y+n 2  
       d&CpaOSu  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion R)BXN~dQ  
                                                                                       3:MJKS02OD  
    系统构建块-失真分析仪 D HT^.UM28  
                                                                               zBlv?JwG  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 gs;^SRE I  
     _XT'h;m  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               #GLW3}  
    ^ZO! (  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         zPND $3&'  
    Q&N#q53  
    *2u~5 Kc<  
     ;:j1FOj  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: j{ YYG|  
    ~x!up 9  
    Universal Detector GLyPgZ`|  
                                                                                   PBnH#zm  
    总结-组件… DrKB;6  
    3ZI7;Gw  
     QOo'Iv+EL  
    系统观感   Vn4wk>b}$2  
     &:g:7l]g  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ^t5My[R  
    ')!X1A{  
     C=V2Y_j  
    性能评估-点位偏差 YO.+-(   
    n'v\2(&uYN  
                                       z,4mg6gt  
    性能评估-光斑直径测量                                                       gT_KOO0n  
    dgF%&*Il]O  
    _ Lb"yug  
    #'q7 x  
    VJqk0w+  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 oDV6[e  
    E{&MmrlL,  
    VirtualLab Fusion技术 X0u,QSt' O  
                                                                         >i,_qe?V:w  
     
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