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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 ^g~Asz5]  
                                             K;_p>bI5  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 r=s ,Ath  
    C z4"[C`;  
    建模任务 $oH?oD1  
    ' >`?T}a,  
    系统构建块-扫描源                                                     E xc`>Y q  
    -mO[;lO  
    How to Set Up a Scanning Source /o.wCy,J<  
                                                                                   `;*Wt9  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 $[VKM|Zjw  
    #|GP]`YT  
    系统构建块-参数耦合 }7g\1l\  
       PD$ay^Y  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 7X2g"2\Wm  
                                                                                       X{9D fgW  
    系统构建块-失真分析仪 #v=hiL  
                                                                               |5Mhrb4.  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 %QVX1\>]  
     /.aZXC$]  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               9&g//JlD  
    KU"? ZI  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         )2g\GRg6  
    ]B:g<}5$4  
    :w#Zs)N  
     j7xoe9;TxI  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: FaPX[{_E  
    tUGnD<P  
    Universal Detector >+7+ gSD#:  
                                                                                   Q SW03/_f  
    总结-组件… +%7yJmMw  
    &0It"17Ej  
     9<.FwV >  
    系统观感   LU?X|{z  
     mF%>pj&b  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 (NFq/w%  
    @8HTC|_vX  
     !Q*.Dw()[  
    性能评估-点位偏差 kmi[u8iXD_  
    SWz+.W{KQ"  
                                        PQa {5"  
    性能评估-光斑直径测量                                                       e/6WhFN #  
    Lf3Ri/@ p  
    XK`>#*"V  
    1 C{n!l  
    V);{o>%.K  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。  fv5'Bl  
    m[LIM}Gu  
    VirtualLab Fusion技术 2wlrei  
                                                                         W% YJ.%I  
     
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