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摘要 0l#{7^e
 =L_L/"*rel F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 -:9E +b x17cMfCH% 建模任务 :`BZ,j_
 G<.p" .o4
系统构建块-扫描源 C6Qnn@waYb  HfN-WYiR How to Set Up a Scanning Source
KQsS)ju S.o 9AUv9 系统构建块-透镜系统组件 (QQ /I;  ]'Y
vI! r 系统构建块-参数耦合 RB1c!h$u  S<^*jheO5
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion b
62 o
p"^^9 '`= 系统构建块-失真分析仪 }9T$ XF~
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<zO 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 $-""=O|"
 M7vc/E}]n 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 /7Z0| Zw] [~$Ji&Dd
通用探测器和探测器附加组件 @+A`n21,O z,XM|-"#<K
 S9X ~<!]
 k#k !AcC Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Zyq h kM>0>fkjE Universal Detector [sG=(~BU 8.D$J 总结-组件… 31mY]Jve"
 ai "Kd=R
 =]x FHw8A 系统观感 Z[8 {V
+=I_3Wtth 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 LL Oe
k!E`Xeob
 TL@_m^SM 性能评估-点位偏差 xy `aR< L
Q1V 4bmM
 cw#p!mOi~ 性能评估-光斑直径测量 Cec!{]DL& Q%4>okj,  vW6Pf^yJ
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 F;yq/e#Q
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VirtualLab Fusion技术 j<!rc>)2+L
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