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摘要 baVSQtda
 !j| 93 * F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 6}E C)j;Fw Q]]5\C. 建模任务 u/8urxp y
 u/2 !v(
系统构建块-扫描源 U|HF;L  %95'oW)lo How to Set Up a Scanning Source H!NyM}jsr Xu8_ <% 系统构建块-透镜系统组件 "RF<i3{S  fQB>0RR2 系统构建块-参数耦合 0u'qu2mV  s
s*% 3<
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion g,
%xGQ4+
*Tt*\ O 系统构建块-失真分析仪 xX ktMlI
 ]O\Oj6C 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 2"~QI xY=
 {LLy4 m 虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 r6Hdp Pkbx /\
通用探测器和探测器附加组件 AGN5 =K*D 1*"t-+|
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 ]$> O-- Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: _IOt(Zb( % ;E/{ gO Universal Detector >7VO ytc 2h6<'2'o1 总结-组件… RG)!v6
 0DBA 'Cv
 z3 lZ3 系统观感 YYz,sR'%|}
xnW3,:0 通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 (1 pxQ%yEA
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 |-HV@c] 性能评估-点位偏差 -];/ *nl
PSO9{!
 Bw31h3yB 性能评估-光斑直径测量 q}PeXXH TRl,L5wd-?  hy"O_Le
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此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 .X; zEyd
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VirtualLab Fusion技术 H+`s#'(i_P
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