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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 ;pNbKf:  
                                             HxqV[|}0u  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 teS0F  
    dZiWVa  
    建模任务 gK#fuQ$hH  
    ZRq}g:  
    系统构建块-扫描源                                                     s)DNLx  
    QGz3id6  
    How to Set Up a Scanning Source $*)(8Cl  
                                                                                   ~CdseSo 9  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 6k=Wt7C  
    }L7F g%,  
    系统构建块-参数耦合 *DI:MBJY  
       p$o&dQ=n[  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion =|V]8 tN  
                                                                                       4C9"Q,o%&  
    系统构建块-失真分析仪 t?H;iBrpxd  
                                                                               bvu<IXX=2  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 <<zz*;RJJ  
     rKs WS~U  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               : )"jh`  
    !#4HGjPI  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         5<BV\'  
    qjEWk."  
    Ho8.-QSG  
     AXv;r<  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: [W\atmd"  
    RqjDMN:  
    Universal Detector T0"0/{5-_  
                                                                                   otH[?c?BT  
    总结-组件… M*@ aA XM  
    u{nWjqrM*5  
     XoQk'7"f  
    系统观感   Vh9s.=*P@  
     U <$xp  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 }xlmsOHuI  
    FITaL@{c  
     o-<_X&"a|5  
    性能评估-点位偏差 oUKbzr/C  
    z,x"vK(  
                                       Rf0\CEc  
    性能评估-光斑直径测量                                                       #5:A?aj  
    lJY=*KB(6  
    %oKqK >S)  
    } 9s  
    [qMO7enu#  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 R9-JjG2v  
    H^1 a3L]  
    VirtualLab Fusion技术 NITx;iC  
                                                                         $M<4Bqr  
     
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