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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 O{O 9}]6  
                                             A Z]Z,s6  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 %,h!: Ec^c  
    !$4Q]@ }  
    建模任务 Ni/|C19Z  
    }qTv&Z3$  
    系统构建块-扫描源                                                     6i55Ja  
    BD<rQmfA^  
    How to Set Up a Scanning Source U Ek |8yq  
                                                                                   |2tSUOZ  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 &4a~6  
    }"!6Xm  
    系统构建块-参数耦合 Ji)%Y5F  
       noWRYS%  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 4"`=huQ  
                                                                                       K7YT0cG  
    系统构建块-失真分析仪 @D( KuF  
                                                                               1ZGQhjcx  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 bUpmU/ RW  
     !^rITiy  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ZC>`ca  
    =Td#2V;0  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         `K@5_db\  
    S+4I[|T]Y  
    ^*j[&:d  
     (Qw`%B  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 0$Qn#K  
    W\ZV0T;<]  
    Universal Detector C{U[w^X  
                                                                                   x|P<F2L  
    总结-组件… C"V?yDy2~  
    n:{-Vvt  
     @Wlwt+;fT  
    系统观感   4IH0un  
     Lk$Je O  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 IDL^0:eg<.  
    'npT+p$ V  
     98<bF{#0WM  
    性能评估-点位偏差 6= aBD_2@  
    4rGO8R  
                                       U[H+87zg  
    性能评估-光斑直径测量                                                       xP|%rl4  
    ]-+.lR%vd9  
    D:S6Mu  
    gXJ19zB+  
    GhchfI.  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 +)''l  
    9, sCJ5bb"  
    VirtualLab Fusion技术 9|?(GG  
                                                                         vi()1LS/!  
     
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