[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 S5o\joc  
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   B49: R>  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 QT\||0V~p  
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任务 HpbSf1VvAf  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 +Cf"rN  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 1f3c3PJ  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 :%&|5Y
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连接建模技术：衍射光束分束器 \mK;BWg)  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 Ms4~P6;%  
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将传输函数转化为结构 K_SURTys  
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衍射光束分束器表面 *'i9  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM {l0[`"EF  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 +,g3Xqs}X  
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PTS dW~3  
设计与评估结果： F<V.OFt  
• 相位函数设计 s(.H"_a  
• 结构设计 DXI{ jalL  
• TEA 评估 !B*l'OJw  
• FMM 评估 }Fq~!D Ee  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） SH1S
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仅相位传输设计 \rpXG9  
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结构设计 c0ue[tb  
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使用TEA进行性能评估 ]&;K:#J  
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使用FMM进行性能评估 ,J&\) yTP  
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进一步的分析（优化后，容差分析） g)mjw  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 BjyV&1tRV!  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Fks #Y1rI  
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J#?`l,  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 @|PUet_pb