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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 S5o\joc  
    Bi}uL)~rD  
       B49: R >  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 QT\||0V~p  
    Kkfza  
    任务 HpbSf1VvAf  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 + Cf"rN  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 1f 3c3PJ  
    S($8_u$U  
    %5g(|Y]  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 :%&|5Ytb  
    连接建模技术:衍射光束分束器 \mK;BWg)  
      
    .wH`9aq;5@  
    G_ -8*.  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 Ms4~P6;%  
    38<Z=#S  
    azK7kM~  
    将传输函数转化为结构 K_SURTys  
    0H9UM*O  
    dG8_3T}i  
    衍射光束分束器表面 *'i9  
    k-V3l  
    nYFM^56>_  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM { l0[`"EF  
    .}n-N #  
    3Q0g4#eP  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 +,g3Xqs}X  
    Lg%3M8-W~  
    PTS dW~3  
    设计与评估结果 F<V.OFt  
    • 相位函数设计 s(.H"_ a  
    • 结构设计 DXI{ jalL  
    • TEA 评估 !B*l'OJw  
    • FMM 评估 }Fq~!D Ee  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) SH1S_EQ<  
    (IXUT6|  
    仅相位传输设计 \rpXG9  
    SSQB1c  
    y2`},  
    结构设计 c0ue[tb  
    <5 )F9.$  
    -I0J-~#  
    使用TEA进行性能评估 ]&;K:#J  
    4 (c{%%  
    {*PbD;/f  
    使用FMM进行性能评估 ,J&\) yTP  
    VbI$#;:[7  
    H`bS::JI-  
    进一步的分析(优化后,容差分析) g)mjw  
    _LSp \{Z  
    goqm6L^Cu  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 BjyV&1tRV!  
    8=MNzcA }  
    YD{Ppz  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Fks #Y1rI  
    =91wC  
    J#?` l,  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 @|PUet_pb  
     
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