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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-26
    摘要 )CFJ Xc:  
    u[GZ~L  
       hG1$YE  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 -"[4E0g0  
    OgF[=  
    任务 0+>g/ >  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 q[$>\Nfg>B  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 J6Ilg@}\  
    'm`O34h  
    z9o]);dZ  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 uN%Cc12  
    连接建模技术:衍射光束分束器 v$}^$8`  
      
    DG TLlBkT  
    ?@"@9na  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 6N@=*0kh-  
    YgEd%Z%4  
    +Br<;sW  
    将传输函数转化为结构 ,HjJ jpE  
    /uw@o9`~2-  
    {Ydhplg{  
    衍射光束分束器表面 ZX_QnSNZ?  
    9wL2NC31Q  
    kepuh%KY[  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM #/qcp|m  
    0}i 9`p  
    k=)U  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 #]Vw$X_S  
    ^A ]4  
    _c]}m3/  
    设计与评估结果 Q 8]X  
    • 相位函数设计 :V9Q<B^  
    • 结构设计 LW=qX%o{  
    • TEA 评估 \9+,ynJH8z  
    • FMM 评估 %<yW(s9{  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) KDN#CU  
    \KV.lG!  
    仅相位传输设计 kHK<~srB  
    B;bP~e>W  
     U#f*  
    结构设计 ir^d7CV,   
    RY5e%/bg~U  
    KE\>T:  
    使用TEA进行性能评估 {tVA(&\<  
    l&H-<Z.8m  
    dwn|1%D  
    使用FMM进行性能评估 ]Jz=. F sO  
    v=^^Mr"Z^  
    S%RxYJ(  
    进一步的分析(优化后,容差分析) +9HU&gQ3  
    i%yKyfD  
    <@7j37,R7V  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 Wi$?k {C  
    u&y> '  
    x.gzsd  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 2K~v`c*4  
    2`i &6iz  
    ;)rhx`"n  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 -Ua5anzB  
     
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