摘要 )CFJXc: u[GZ~L hG1$YE 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
-"[4E0g0 OgF[= 任务 0+>g/> • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
q[$>\Nfg>B • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
J6Ilg@}\ 'm`O34h z9o]);dZ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 uN%Cc12 连接建模技术:衍射光束分束器 v$}^$8`
DGTLlBkT
?@"@9na 通过配置助手和IFTA进行相位设计 6N@=*0kh- YgEd%Z%4 +Br<;sW 将传输函数转化为结构 ,HjJ jpE /uw@o9`~2- {Ydhplg{ 衍射光束分束器表面 ZX_QnSNZ? 9wL2NC31Q kepuh%KY[
衍射光束求解器 - TEA & FMM #/qcp|m 0}i
9`p k=)U 光栅级数 & 可编程光栅分析器 #]Vw$X_S ^A ]4 _c]}m3/ 设计与评估结果:
Q
8]X • 相位函数设计
:V9Q<B^ • 结构设计
LW=qX%o{ • TEA 评估
\9+,ynJH8z • FMM 评估
%<yW(s9{ • 高度缩放检查(用于优化/容限)
KDN#CU \KV.lG! 仅相位传输设计 kHK<~srB B;bP~e>W U#f* 结构设计 ir^d7CV, RY5e%/bg~U K E\>T: 使用TEA进行性能评估 {tVA(&\< l&H-<Z.8m dwn|1%D 使用FMM进行性能评估 ]Jz=.F sO v=^^Mr"Z^ S%RxYJ( 进一步的分析(优化后,容差分析) +9HU&gQ3
i%yKyfD <@7j37,R7V 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 Wi$?k{C u&y> ' x.gz sd 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 2K~v`c*4 2`i&6iz ;)rhx`"n 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 -Ua5anzB