摘要 tRkrV]K %{Xm5#m PXR0 Yn 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
-z&9DWH fo*!a$) 任务 $=7H1 w • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
"3v7 gtGG • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
.5Q5\qc= &8zk3 XpOCQyFnM 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 p-a]"l+L 连接建模技术:衍射光束分束器 +7`u9j.
gp%tMTI1 CCC4(v 通过配置助手和IFTA进行相位设计 VN?<[#ij J&( ;U8dm" 将传输函数转化为结构 d"z *Nb h)"'YzCt /95FDk> 衍射光束分束器表面 So0`c,D twAw01". n}) 衍射光束求解器 - TEA & FMM bn5"dxV FW/6{tm %L.lkRs 光栅级数 & 可编程光栅分析器 (2n3exx 6ch@Be5* W=q?tD~V 设计与评估结果:
#d3[uF]OmW • 相位函数设计
Ty)gPh6O • 结构设计
gGF$M
` • TEA 评估
*sIi$1vHu • FMM 评估
v\J!yz • 高度缩放检查(用于优化/容限)
7$;c6_se >6n@\n 仅相位传输设计 Kv(Y } cKaL K#~ <t% Ao," 结构设计 ag|9$ T[`QO`\5O 0;.e#(`- 使用TEA进行性能评估 aMe%#cLI +# m c }g$1of87 使用FMM进行性能评估 `PXoJl @`#OC# **"zDY*?W 进一步的分析(优化后,容差分析) Z?.:5#
Lx|w~+k} ,Gf+U7'K 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 !&W"f#_Z uOy\{5s8 "Wzij&WkQ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 "a 2H8x {FrHm mE)x7 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 9 ayH:;