摘要 tRkrV]K %{Xm5#m PXR0 Yn 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
-z&9 DWH fo *!a$) 任务 $=7 H1 w • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
"3v7 gtGG • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
.5Q5 \qc= & 8zk3 XpOCQyFnM 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 p-a]"l+L 连接建模技术：衍射光束分束器 +7 ` u9j. 
gp %tMT I1 ：
#d3[uF]OmW • 相位函数设计
Ty)gPh6O • 结构设计
gGF$M
` • TEA 评估
*sIi$1vHu • FMM 评估
v\J!yz • 高度缩放检查（用于优化/容限）
7$;c 6_se >6n@ \n 仅相位传输设计 Kv(Y } cKaL K#~ <t% Ao," 结构设计 a g|9$ T[`QO`\5O 0 ;. e#(`- 使用TEA进行性能评估 aMe%#cLI +# m c }g$1of87 使用FMM进行性能评估 `PXoJl @`# OC# **"zDY*?W 进一步的分析（优化后，容差分析） Z?.:5# 
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