摘要 [f'V pId8 !);kjX QS? <$^76=x,8P 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Fu* ~{n R89 ;<,Ie 任务 9Ytf7NpR • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
nMK,g>wp • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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wM 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 v'"0Ya 连接建模技术：衍射光束分束器 B ?qLXRv 
ZgN )sVJ ：
n+db#qAj5 • 相位函数设计
GA, 6G [E • 结构设计
g1JBssw&m • TEA 评估
Bn83W4M • FMM 评估
01n5]^.p • 高度缩放检查（用于优化/容限）
,&Iw5E[ eIEr\X4\~~ 仅相位传输设计 i ez @j -6(u09mb_ -r%3"C=m 结构设计 H pHXt78 1(z&0Y ; :zXkQQD8` 使用TEA进行性能评估 W0 n/B &C A
%iZ_h^ #&JhA2]q 使用FMM进行性能评估 wb@TYvDt VKcO]_W1 G j6(ycaS 进一步的分析（优化后，容差分析）
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