摘要 ,|Xi bfw qz] g4hS M<KWx'uV 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
)RZ:\:c :}[RDF? 任务 5m(V(@a3 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
?A\[EI^ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
'4 x uH3 ;H%T5$:trP r' /H3 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 zo{WmV7[| 连接建模技术：衍射光束分束器 jy kY8;4 
m~x O;_m ：
&!=[.1H< • 相位函数设计
Y8$,So>~ • 结构设计
6_#:LFke • TEA 评估
]= EYju@ • FMM 评估
iXJ 3B&x • 高度缩放检查（用于优化/容限）
&qO#EEqG] f(r=S Xa* 仅相位传输设计 UOwEA9q% u#&ZD| K>a+-QWK3 结构设计 ;I5u"MDHGI ),u)#`.l
G Munal=wL 使用TEA进行性能评估 i; GF/pi SJXA j$u=7Z&E 使用FMM进行性能评估 3{j&J - h fBZ:es+ lz-t+LD@ST 进一步的分析（优化后，容差分析） c<c " n' 
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