摘要 cRuN; J .VZD Y%?*Lj| 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
I!Z"X& ~ @ )s)K 任务 U8 2mO+} • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
2gZ nrU • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
N'-[>w7vK2 Fi; H /%s:aO 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 2P)O
0j\/ 连接建模技术：衍射光束分束器 e(xuy'4r 
3Pllxq<n ：
@fJsRWvGq • 相位函数设计
[U 8/nT • 结构设计
*i^ $xjOa • TEA 评估
<+-n
lK4 • FMM 评估
,z>-_HOnw • 高度缩放检查（用于优化/容限）
)\ceanS DKu$u ]Z 仅相位传输设计 IsE3-X| BWy-R6br ,LN^Zx* 结构设计 -l57!s~V R-9o 3TPa 5cinI^x)f 使用TEA进行性能评估 ~F@n `!c ;Tp9)UP) MO0NNVVi%U 使用FMM进行性能评估 WV.hQX9P b<~-s sL7a ^@O 7d 1&y 进一步的分析（优化后，容差分析） {yWL|:#K 
* bf 5A9
