摘要 +O,V6XRr [e1\ A&T ~{9 x6<g! 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
y]MWd#U C~:b* X 任务 tRkrV]K • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
~V!EtZG$ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
O${r^6Hh c.\:peDk HoMQt3C 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 )'w]YIv9 连接建模技术：衍射光束分束器 rrbZ+* U 
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:m)c[q8 • 相位函数设计
-DA;KWYS • 结构设计
K,Lr + • TEA 评估
R%Kl&c • FMM 评估
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• 高度缩放检查（用于优化/容限）
hU |LFjc GcPB'`!M 仅相位传输设计 ~_ ( !}V :Xb*m85y rHH#@ Zx 结构设计 3L%Y"4(mm D-;J;m
\ =B 1`R %t 使用TEA进行性能评估 1 OuSH+ 44z=m MR< \xy:6gd : 使用FMM进行性能评估 FuIWiO( Z`e$~n(Bh 0%v ixR52 进一步的分析（优化后，容差分析） IO?~b X P 
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