摘要 yAz`n[ P(D 0ru r%QTUuRXC3 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
yxP(| lf3QMr+ 任务 )!M %clm. • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
p B* 8D • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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atm 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 GvQKFgO6h 连接建模技术：衍射光束分束器 N.R, [K 
X!#rw= Q ：
,c }R*\ • 相位函数设计
#2AK O/ • 结构设计
-!w({rP • TEA 评估
}e[;~g\ & • FMM 评估
hd W}._ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
=@BVO @z@ `?@7T-v 仅相位传输设计 A6-K~z^ LEu _RU? l@:|OGD;8 结构设计 pYXusS7S fviq }. j'xk [bM 使用TEA进行性能评估 0_\@!#-sml ^xz*%2@ B+)HDIPa- 使用FMM进行性能评估 Uqs J44QEZ m[l[yUw# V AGQR&T? 进一步的分析（优化后，容差分析） =]Gw9sge@ 
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