摘要 i< mev L
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D~D1 F=srkw:*. 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
zhX;6= X2 T8U[xu.> 任务 i-b1d'?Rb • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
gt/!~f0 r • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
SZ/(\kQ6 mH)OB?+lq [<yz)<< 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 EY~7oNfc`R 连接建模技术：衍射光束分束器 G.Tpl-m 
B%f U' ：
frc {>u~t • 相位函数设计
<GaT|Hhc= • 结构设计
%K?iNe • TEA 评估
wu 2:' y>n • FMM 评估
_IxamWpX$ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
wWTQ6~Y%d 333 u] 仅相位传输设计 ,T$r9 !WTM b66R}=P l zmb@*/fK 结构设计 &DLhb90 c|lU(Tf `VZZ^K9zR 使用TEA进行性能评估 Vhv TBo<cw H* /&A9(" "15=ET 使用FMM进行性能评估 GJ `UO DWrbp PBrnz koY 进一步的分析（优化后，容差分析） OR;&TbWF(R 
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