摘要 W:aAe%S /_rQ>PgSZW LbJ tU ! 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
ibl^A= rwtSn?0z" 任务 _c['_HC • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
o B-&ma[ZS • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
7 ,!Mm u '/\@Mc4T %/oOM\} ++ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ^8o'\V"m^ 连接建模技术：衍射光束分束器 @?!/Pl49R 
N;F1Z -9 ：
EQyRP.
dq • 相位函数设计
x]euNa • 结构设计
Ar'}#6 • TEA 评估
,4NvD2Y • FMM 评估
HLN rI0 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
"ltvD\ enF.}fo] 仅相位传输设计 RoxzCFsI\ j5R= K*y
p[0W s460 结构设计 Ufv{6"sH N Rcg~Nu !__f 使用TEA进行性能评估 !.+iA=K{ `tVBV :4\ K^J;iu 4 使用FMM进行性能评估 N ]}Re$5 BNyDEFd 1|;WaO1Q 进一步的分析（优化后，容差分析） s$C;31k 
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