摘要 <%~`!n,t0 GIyb0XjTw x_yQoae
非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
.Zzx W @S%ogZz*m 任务 uq~Z • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
tt=JvI9> • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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I1 Jo 8s 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 }\s\fNSQ / 连接建模技术：衍射光束分束器 cKb jW 
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8n[6BF); • 相位函数设计
W`q iPLk • 结构设计
r&MHww1i • TEA 评估
X q"_^ • FMM 评估
>`3wEJ"< • 高度缩放检查（用于优化/容限）
Dm")\"5\? qId-v =L 仅相位传输设计 /|)VO?*D g?}$"=B dv_& ei 结构设计 h0=Q .Yz6 `ZC{<eVJ}= ek ^=Z` 使用TEA进行性能评估 ;j#(%U] Vp &7}\mnhB P?zPb'UVqa 使用FMM进行性能评估 8@}R_GZc o/;kz i {x-iBg9#l2 进一步的分析（优化后，容差分析） o9j*Yz 
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