摘要 ,]JIp~=nsh lrkgsv6 ?2o+x D2 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Vq#0MY)2gS d\Up6F 任务 *>aVU' • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Cs "ivET • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
;L76V$& )RFY2 } Ot=nKdP}D 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 {7X9P<<L7 连接建模技术：衍射光束分束器 ci? \W6 
%t* 9sh ：
[70 _uq • 相位函数设计
Ug#B( }/ • 结构设计
,{ 0&NX • TEA 评估
R-iWbLD • FMM 评估
Ea" -n9 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
IWddJb~hu R SWw4} 仅相位传输设计 ~r})&`5 W>CG;x{ ;&w_.j*Is 结构设计 FFVh~em{
_jCu=l_ #8v l2qWbi 使用TEA进行性能评估 |gk"~D m=iKu(2xRq *g'%5i1ed 使用FMM进行性能评估 ki `ur%h 5
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f; 进一步的分析（优化后，容差分析） ?5 6;<%0 
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