摘要 L gk w_tJ7pz8T 88s/Q0l 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Smw QET<H > L2HE T 任务 b97w^ah4gJ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
(V:E2WR • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
S$,'Q^~K WJH\~<{mP q*7<)VwI 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 M5357Q 连接建模技术：衍射光束分束器 =q7Z qP 
>$WQxbwM( ：
K _)eWf0a • 相位函数设计
l/TjQ* • 结构设计
U4f5xUY0) • TEA 评估
ZYU=\ • FMM 评估
c #-U%qZ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
h I%bjuq (wIzat 仅相位传输设计 ,YTIC8qKr IN8>ZV`j) *4+3ObA 结构设计 &, A64y ]H-S, lmV f=C ,e/sw 使用TEA进行性能评估 AjcX N J;_}lF9d@ m8'C_U^89 使用FMM进行性能评估 UcBe'r}G ` >0MNmu fkf1m:Ckh 进一步的分析（优化后，容差分析） +zXEYc 
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