摘要 fVxRK\a\\ lPn&,\9@~ B=hJ*;:p 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
&: Sb$+z LJBDB6 任务 l&m'?. g f • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
FUKE.Uxd • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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O>M f n'N^ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 }S>:!9f 连接建模技术：衍射光束分束器 dIDs~ 
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kM\O2 ay • 相位函数设计
>AW=N • 结构设计
Y">;2Pt; • TEA 评估
:1wMGk • FMM 评估
2JYt.HN • 高度缩放检查（用于优化/容限）
0|:Ic , :[N[D#/z 仅相位传输设计 Wwf#PcC] B"I> mw )Cz^X p)# 结构设计
t =]&q. <nj [=C4v Mf&W<n^j 使用TEA进行性能评估 p\8cl/~ va8V{q@t' |Tz4 xTK 使用FMM进行性能评估 8Db~OYVJG l1N{ ujM 5e,Dk0d 进一步的分析（优化后，容差分析） _A)<"z0E 
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