[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 ^_t%kmL`  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 &1l=X]%  
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任务 ,sO:$  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 i0k+
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• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 k_,MoDz  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ?j1_ n,d  
连接建模技术：衍射光束分束器 DRH'A!r!  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 u~" si
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将传输函数转化为结构 m!rwG(  
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衍射光束分束器表面 3LKB;  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM K1:a]aU?Iu  
Nc{]zWL9  
d!`lsh@tF  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 Qm $(  
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设计与评估结果： ,VAp>x+O  
• 相位函数设计 }c} ( 5  
• 结构设计 Ee&hG[sx  
• TEA 评估 +AB6lv  
• FMM 评估 3@&bxYXm  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） pss6Oz8  
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仅相位传输设计 'g]hmE  
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结构设计 2-~a P  
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使用TEA进行性能评估 B]1HS`*7  
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使用FMM进行性能评估 Mec{_jiH&D  
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M:_!w[NiLp  
进一步的分析（优化后，容差分析） F<5nGx cC  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ,*dzJT$k  
X:_<Y_JT  
Y~az!8j;Z  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 e$/&M*0\f  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 @44P4?;