摘要 z=BX-) N, ;'oL + J
A4'e@ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
qPH]DabpI \*!g0C 8 o 任务 dSk\J[D • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
wC'KI8- • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
\TC& /'7} 7b:oz3 ?PI /o+,
=7hY 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 pk: ruf`) 连接建模技术：衍射光束分束器 5j{o0&=_$ 
!+9 H=u ：
- NiFO • 相位函数设计
3(E"$Se,f • 结构设计
+CX2W(' • TEA 评估
UyD=x(li • FMM 评估
C&zgt
:q6} • 高度缩放检查（用于优化/容限）
htMsS4^Kvd {~b]6}O 仅相位传输设计 kH-1l>": [WY
NA-O \dbpC Z 结构设计 { tim{nV ehO F@IA_ }I#;~|v~< 使用TEA进行性能评估 H P*x?|4 Fl(+c0|kT 1nBE8
N 使用FMM进行性能评估 &AUL]:<s $M$oNOT}Y Itj|0PGd 进一步的分析（优化后，容差分析） V6BCW; 
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