摘要 NUi{!< yC9:sQ'k
;n yB \_iH4<#> 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
'0\0SL tEi@p;Z> 仿真任务 Ktg&G<%J0 D6C-x
-L^0-g `~w%Jf 连接建模技术:倾斜光栅 J8qu]{0I"
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可用的微结构建模技术:
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y1@"H/nYJ [# H8= 光栅阶数分析仪 u;l6sdo Y\\3g_YBF
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参数变化分析仪 "K4X:|Om" oHP>v_X
D7Rbho< ie$fMBIq 参数优化 %k1q4qOG]^ p ] $
9M-NItFos NO0[`jy( 优化结果-平均效率 "6[Ax{cM e>)}_b
0qaG#&! -\sKSY5{R 优化结果-对比度 g,z&{pZch
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