[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             NUi{!<  
yC9:sQ'k  

;n yB  
\_iH4<#>  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             '0\0SL   
tEi@p;Z>  
仿真任务                                                                             Ktg&G<%J0  
   D6C-x  
-L^0-g  
`~w%Jf  
连接建模技术:倾斜光栅 J8qu]{0I"  
DI$mD{  
                                                                     ~G|{qVO7A  
~N
NaLl  
可用的微结构建模技术: &5kjjQ*HB  
5n|MA  
y1@"H/nYJ  
                                                                                 [#H
8=  
光栅阶数分析仪 u
;l6sdo  
Y\\3g_YBF  
!5g)3St  
[)b/uR  
参数变化分析仪                                                                             "K4X:|Om"  
   oHP>v_X  
                                                                             D7Rbho<  
ie$fMBIq  
参数优化                                                                             %k1q4qOG]^  
p ] $  
                   9M-NItFos  
NO0[`jy(  
优化结果-平均效率 "6[Ax{c
M  
e>)}_b  
                                                   0qaG#&!  
-\sKSY5{R  
优化结果-对比度 g,z&{pZch  
T$>=+U