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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-11
    摘要                                                                             i[#Tn52D  
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    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             >m!.l{*j>N  
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    仿真任务                                                                             < .!3yy  
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    连接建模技术:倾斜光栅 _I!&w!3oM  
    *Rd&4XG  
                                                                        
    6 -}gqkR  
    M-gjS6c\3  
    可用的微结构建模技术: 3>6o=7/PU  
    ewg WzB9c  
    ehq6.+l  
                                                                                     qfU3Cwy  
    光栅阶数分析仪 ]u';zJ.  
    YBP{4Rl  
    W% ud nJ  
    9@06]EI_  
    参数变化分析仪                                                                            
    BR'|hG  
       f]}F_]  
                                                                                 %Y TIS*+0  
    '\Ub*m((1O  
    参数优化                                                                             hj4Rr(T  
    L/I-(08!Y:  
                       |=POV]K  
    ./d (@@  
    优化结果-平均效率 YaU A}0cW  
    XvdhPOMy  
                                                       @w0[5ZAj  
    ZE^de(Fm  
    优化结果-对比度 %#,BvQz~  
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