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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 02-11
    摘要                                                                             Da-U@e!  
    Mfinh@K,  
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    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             [x8_ax} w  
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    仿真任务                                                                             p G(Fw>  
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    连接建模技术:倾斜光栅 GFTOP%Tgl  
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    6;Sz^W  
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    可用的微结构建模技术: \&\U&^?  
    51gSbkVX  
    m(KBg'kQ  
                                                                                     6lob&+  
    光栅阶数分析仪 AwtiV-w  
    Xf{ht%b  
    w JF(&P  
    !uW;Ea?  
    参数变化分析仪                                                                            
    wK!7mZ  
       P!u0_6  
                                                                                 C 8KV<k  
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    参数优化                                                                             $[0\Th  
    {J*|)-eAw  
                       4 z^7T  
    }6"l`$=Ev  
    优化结果-平均效率  N<~LgH  
    =wznkqyhi  
                                                       _sAcvKH  
    a"m-&mN  
    优化结果-对比度 3w}ul~>j  
    JH._/I  
     
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