[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             i:n1Di1~E  
~vV+)KI  
!n`
Y^  
\qw1\-q  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。              I#U)  
|wkUnn4UB8  
仿真任务                                                                             60X))MyN  
   vC%Hc/&.}  
/ TAza9a  
I!u fw\[  
连接建模技术:倾斜光栅 It8s#oq8  
`2a7y]?  
                                                                     O)D+u@RhH  
-:|t^RM;FT  
可用的微结构建模技术: D[Kq`  
H|s,;1#  
3)3$ L  
                                                                                 !CUX13/0  
光栅阶数分析仪 ( P\oLr9  
qrkJ:  
@2/xu  
#sb@)Q  
参数变化分析仪                                                                             d_)VeuE2  
   2+}hsGnp  
                                                                             Q+zy\T  

fa2hQJ02  
参数优化                                                                             HC>MCwx=r  
?vg|;Q  
                   -^WW7 g`  
66l+cb  
优化结果-平均效率 *x@.$=NF"  
`Oe"s_O#  
                                                   {8w,{p`  
;bYLQ  
优化结果-对比度 ]?UK98uS\A  
W+ v#m>G