摘要 r0p w_j OL4z%mDZi
*s@Qtgu 74!oe u.> 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
V_plq6z IV\J3N^ 仿真任务 G)?9.t_Lj- *#TUGfwy
\*=7#Vd ge]STSM0n7 连接建模技术:倾斜光栅 ECv)v
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L^Jk=8 pp9Zb.D\ 可用的微结构建模技术:
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2^?:&1: >X*Mio8P# 光栅阶数分析仪
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参数变化分析仪 $-[CG7VgX% cQ9q;r`%
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@)SL_9 OyqNLR 优化结果-平均效率 y8fsveX fGmT_C0t
eb*#'\~' =y=cW1TG 优化结果-对比度 P./VmY'
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