[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             r0p w_j  
OL4z%mDZi  
*s@Qtgu  
74!oe u.>  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             V_plq6z  
IV\J3N^  
仿真任务                                                                             G)?9.t_Lj-  
   *#TUGfwy  
\*=7#Vd  
ge]STSM0n7  
连接建模技术:倾斜光栅 EC
v)v  
f~}H  
                                                                     L^Jk=8  
pp9Zb.D\  
可用的微结构建模技术: N0#JOu}~  
(O0Urm  
2^?:&1:  
                                                                                 >X*Mio8P#  
光栅阶数分析仪 4CGPOc  
NcY608C  
bWOS `5  
N},n `Yl.  
参数变化分析仪                                                                             $-[CG7VgX%  
   cQ9q;r`%  
                                                                             qJ0fQI\  
B]tIi^  
参数优化                                                                             T#bu V  
ca+[0w@S  
                   @)SL_9  
OyqNLR  
优化结果-平均效率 y8fsveX  
fGmT_C0t  
                                                   eb*#'\~'  
=y=cW1TG  
优化结果-对比度 P./VmY'  
p!s}=wI`