[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             jO|`aUYTf  
) LTV+?  
a2i:fz=[  
pY&dw4V  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             e^\#DDm  
0Js5 ' 9}H  
仿真任务                                                                             <w8H[y"c  
   a|[f%T<<  
A )CsF  
:,
R>e}lM  
连接建模技术:倾斜光栅 hE'7M;  
~i'!;'-_}  
                                                                     LmJ _$?o  
u|u)8;'9(  
可用的微结构建模技术: W[]|Uu/%  
=?wDQ:  
K V?+9qa,  
                                                                                 G{Ju2HY  
光栅阶数分析仪 zcH"Kh&  
T2)CiR-b  

*ezft&{)`  
|E||e10wR  
参数变化分析仪                                                                             Nlwt}7  
   In!^+j  
                                                                             qt"6~r!  
I69Z'}+qz  
参数优化                                                                             v4uQ0~k~X  
"[7'i<,AI  
                   Sz')1<  
vS3Y9
|-:  
优化结果-平均效率 -ik((qx_  
lb=fS%  
                                                   p-rQ'e  
85] 'I%gT  
优化结果-对比度 VsK8:[Al  
]6|?H6'/`v