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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-11
    摘要                                                                             u<VR;p:y  
    88@" +2  
    \jkMnS6FvL  
    -`I&hzl6E  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             :i?7RouO  
    ~ `xaBz0q  
    仿真任务                                                                             >/r^l)`9_f  
       UA BaS(f3  
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    s=Cu-.~L  
    连接建模技术:倾斜光栅 oMb&a0-7u  
    ]4uY<9VL  
                                                                        
    agbG)t0  
    q =\3jd  
    可用的微结构建模技术: W~!uSrY  
    "^Ax}Jr  
    #FZoi:'Q  
                                                                                     ezq<)gJc  
    光栅阶数分析仪 lpy( un  
    j3Sz+kOf,  
    |7pi9  
    \y7kb  
    参数变化分析仪                                                                            
    6h5,XcO4  
       }akF=/M  
                                                                                 "f Ni3 <x]  
    @@ 1Sxv_  
    参数优化                                                                             9'My /A0  
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    x%Fy1.  
    优化结果-平均效率 'm4v)w<y#  
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                                                       oEuV&m|yX  
    \FL`b{!+ N  
    优化结果-对比度 ;X z fd  
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