[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             z{ M2tLNb  
'Qg!ww7O  
]Ue aXwaU  
K:XP;#OsP  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             6DU(KYN  
R#YeE`K  
仿真任务                                                                             )w<Z4_!N4s  
   SAitufS  
jPo,mz&^  
S8kzAT  
连接建模技术:倾斜光栅 [\eVX`it  
Tc"J(GWG  
                                                                     Hn(Eut7%  
qe(gKKA%q  
可用的微结构建模技术: \K"7U  
rqp]{?33  
f34/whD65  
                                                                                 $nW9VMa  
光栅阶数分析仪 K/Pw;{}  
V'>Plb.A  
rp"5176  
.`_iWfK  
参数变化分析仪                                                                             $kN=45SR  
   !x ~s`z  
                                                                             uh.;Jj;  
2z#S
|$  
参数优化                                                                             }wp/,\_ >  
&L+.5i  
                   &
b^~0Z  
EAXl.Y. $  
优化结果-平均效率 n6t@ e^  
0fvOA*UP  
                                                   <)!,$]S  
%GY'pQz  
优化结果-对比度 ))Z>$\<:  
uY>M3h#qx