[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             &*%x]fQ@  
(zsv!U  
Cs7ol-\)  
m\X\Xp~A  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             ,Gg;:)k\  
QS5t~rb  
仿真任务                                                                             -z0;4O (K]  
   Kk6=61}A  
p@nj6N.--  
!ltq@8#_|  
连接建模技术:倾斜光栅 T7^;!;i`X  
f&mi nBU  
                                                                     6-fv<Pn  
owQ,op#  
可用的微结构建模技术: bWAa: r  
(D) KU9B>  
5l 3PAG  
                                                                                 f
?51sr  
光栅阶数分析仪 L*tfYonq  
`SsoRPW&$  

rpK&OR/  
; Byt'S  
参数变化分析仪                                                                             tP7<WGHd/  
   PPr Pj^%z=  
                                                                             >Vjn]V5y  
.JXEw%I@  
参数优化                                                                             ;=jF9mV.  
BB\GrD  
                   Xt<1b
 
2&>t,;v@  
优化结果-平均效率 5P%#5Yr2  
 }o*A>le  
                                                   b4i=%]v8  
Q(nTL WW  
优化结果-对比度 e,/]]E/o  
CqlxE/|