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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-11
    摘要                                                                             yTiqG5r  
    ypo=y/!  
    2"mj=}y6  
    G[j79o  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             vy2aNUmt  
    3=7h+ZgB  
    仿真任务                                                                             d.o FlT  
        ?Nql7F4  
    3>v0W@C  
    vI}S6-"<  
    连接建模技术:倾斜光栅 zAJUL  
    @8yFM%  
                                                                        
    hATy 3*4  
    >nEnX  
    可用的微结构建模技术: %tQ{Hf~  
    C/ VYu-p%  
    ygt)7f5  
                                                                                     u6T?oK9j  
    光栅阶数分析仪 REBDr;tv  
    j],.`Y  
    rxeXz<  
    ZY$@_DOB}  
    参数变化分析仪                                                                            
    ; @~*z4U  
       e/jM+%  
                                                                                 ^VPl>jTg  
    :9#{p^:o  
    参数优化                                                                             gi@ji-10  
    m-92G8'  
                       Hd`p_?3]  
    ?^4sE-C6  
    优化结果-平均效率 [:@?,?V\N  
    <W') ~o}  
                                                       6'! {0 5=m  
    OUO^/] J1S  
    优化结果-对比度 ){6)?[G  
    WVK-dBU  
     
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