[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             t!,GI
&  
u$?t |Ll  
6:vdo~  
]DO"2r  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             i+HHOT  

I,xV&j+<  
仿真任务                                                                             v}AVIdR  
   J< U,~ra\  
/ !*+9+h  
Tp?l;DU  
连接建模技术:倾斜光栅 5<y pK`Kq  
lP:ll])p2  
                                                                     0'9zXJ"  
>C|i^4ppI  
可用的微结构建模技术: gP?uLnzvi  
!:^lTvYWZH  
b];p/V# <  
                                                                                 b:w {7  
光栅阶数分析仪 ,[{)4J$MV  
CUR70[pB)  
9cm9;  
4/tp-dBip  
参数变化分析仪                                                                             +/E yX=  
   KLn.v
A.  
                                                                            
Tp7slKc0p  

BL^8gtdn  
参数优化                                                                             d]*a:>58  
p7pJ90~E  
                   ,y57tY  
Z/S7ei@56  
优化结果-平均效率 \%FEQa0u  
?{ 0MF  
                                                   ![,W?  
cj!Ew}o40D  
优化结果-对比度 _V`Gmy[]p  
?Gq|OT8