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摘要 { r9fKA 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ,g R9~k, Kn]c4h}@b5 设计任务 T)IH4UO
7Y:~'&U|
(6C%w)8'
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 QR!8 n U]!D=+ 光栅级次分析模块设置 w[>/(R7im
E%CJM+r!
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 /f!CX|U )~q@2^
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 C<!%VHs
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 $<)k-Cf
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 HvWnPh1l
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 OUY 65K 衍射分束器表面 v3(W4 G`
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 *D: wwJ
qb+vptg@I 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) zt 1Pu
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DrD68$,QN
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 hWGCYkuW
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 < r*A(}Y
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 q%u;+/|l ]M|Iy~
X 光栅级次和可编程光栅分析仪 ~!c~jcq]lZ
`I.Uw$,P s=lk K / [
设计与评估结果 C7ZU)MEUd/
相位功能设计 p[*NekE6-
结构设计 '1{#I/P;
TEA评价 sjLI^#a
FMM评估 hP4*S^l
4Fr0/="H 通用设置 neGCMKtzlJ
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 v)(tB7&`=
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 IrU}%ZVV s a%2,e' 纯相位传输设计 ;Ry
)^5Q
b {e nD f`X#1w9 结构设计 lZTD>$
J[:3H6%` hB#z8D 更深的分析 @P:
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 SSANt?\Z<
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 2nOoG/6
E
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 4
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 n237 %LH[
使用TEA进行性能评估 ~%9 ofXy :%Dw3IrOM
Ws[[Me, = 使用FMM进行性能评估 .S&S#}$/]
:('7ly!h p&=F:- 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 dA <PQKm
3 6D-J)-Z /#?lG`'1 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 rJJI<{$
3Q^@ !hu ^'DrU< o 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 !* wK4UcX"
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