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摘要 k
gu[!hD1 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 )uid!d soq".+Q 设计任务 0 {JK4]C
hJ[mf1je=
i`KZ,
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 b LM"t0 f3TlJ!!U 光栅级次分析模块设置 Lkl|4L
d$_ q=ywc
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 fQ36Hd?(5 "?SOBA!vy
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Xs>s|_T
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 3U~lI&
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 q#(/*AoU
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 XJ h:U0 衍射分束器表面 W8,t l>(
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 5':Gu}Vq
3IK(f . 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) B8 0odU&
B8UZ9I$n
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Itr7lv'5xx
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 -H4+ur JJ
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 XW?ybH6 \|~?x#aA 光栅级次和可编程光栅分析仪 T")i+v
< 4Q1 2: t[?a @S~6
设计与评估结果 [X }@Ct6
相位功能设计 f#v#)Gp+
结构设计 {M@@)27gW
TEA评价 L-z ;:Ztk
FMM评估 { x[;5TM
8jjFC9Cbn0 通用设置 "br RME3
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 W`N}
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 <r B3[IJo !{Q :(B#ec 纯相位传输设计 zkh hN"bX
$U>/i@ D Q54r?|'V 结构设计 ?Q96,T-)
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`V&1]C8x }Kj Ju; 更深的分析 Y$`eg|$
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 T A\4uy6o
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 VT %
KN`l
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 _%'L@[ H
 j ,C,5l=
使用TEA进行性能评估 6 u -$ z.3<{-n}0i
=`Po<7D 使用FMM进行性能评估 S9 G+#[.|
Tm)GC_ 3`A>j" 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 U@6jOZ
}bf=Ntk ]*N:;J 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 7}4'dW.
2W^B{ZS; uf)W-Er6~ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 b!0DH[XKV
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