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摘要 4"v a Ma 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 YUdxG/~' ]}UgS+g>$ 设计任务 -[Qvg49jy
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 3?E&}J<n h)v^q: =' 光栅级次分析模块设置
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 K{l5m{:% ? /JBt
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ?Mp1~{ 8
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 ^<0IB#dA
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Y?#i{ixX6n
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 3g~^LZ66 衍射分束器表面 L z\UZeq
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ? &z Qa xD
XW L^ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) U4N h
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 MbXq`%
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 t!_x(u
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 :h:@o h_= #~ Q8 M*~@ 光栅级次和可编程光栅分析仪 oH2!5;A|
/dDzZ%/@ y@wF_WX2
设计与评估结果 }xFi&
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相位功能设计 hFvi 5I-b
结构设计 y5 m!*=`l`
TEA评价 <1&Ke
FMM评估 cywg[
^t[HoFRa 通用设置 *wi}>_\
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Ih1|LR/c
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 0W>9'Rw :[M[( 纯相位传输设计 Napf"Av
Ak~4|w- cbKL$| 结构设计 &14W vAU
Poa ?Ej g$j6n{Yl 更深的分析 'Zk<l#"}
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 | )@N-f:E
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 i=v]:TOu
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 (OQ?<'Qa
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使用TEA进行性能评估 uC~g#[I QM ^ua12f
C4$/?,K( 使用FMM进行性能评估 GoE#Mxh xo
|Vx~fK S\ \Kd7dK9&] 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 / hdf{4
JZ` L% T{*^_ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 8U.$FMx :
-Gsl[Rc0H; J"[3~&em 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 w1B< 0'#
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