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摘要 pSrsp r 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 Bi_J5 If )tPl<lb 设计任务 7s N0`7
c+;S<g 0
<W|1<=z(
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 !'PlDGD /a%KS3>V* 光栅级次分析模块设置 I:/4t^%
*08+\ed"#
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 5xv,!/@ Z`"n:'&
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 3d U#Ueu
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 MVuP
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3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 (6[Wr}SW5
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 S W-0h4 衍射分束器表面 d:3= 1x
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 {9:hg9;E*
A xR\ ned 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Ris-tdg
4i96U vkZ
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 >!G5]?taa
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 /]l f>\x1
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 W#Cq6N (T2<!&0 @ 光栅级次和可编程光栅分析仪 'T{p dEn8u
_6 /Qp`s tQCj)Ms 'X
设计与评估结果 " # J}A0
相位功能设计 gTyW#verh$
结构设计 }(rzH}X@
TEA评价 W -!dMa
FMM评估 rOhA*_ EG
vy:6_ 通用设置 !?Tzk&'
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。
`;T? 9n
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 `O jvt-5}E I$F\ (]"@ 纯相位传输设计 9cb B[c_.
3 dY6;/s i|[S5QXCh 结构设计 [ y$j9
@)06\ h DvU~%%(0^ 更深的分析 r$Kh3EEF`E
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 hiT9H5 6 >
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 @D2`*C9
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 vatx+)
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使用TEA进行性能评估 Wa@6VY [29$~.m$Y
wN$uX#W| 使用FMM进行性能评估 l'P [5 '.
Iy-u`S %9cqJ]S 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Q&tFv;1w6
]IL3 $eR s-y'<(ll 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 WodF -bE
`<bCq\+` $K;_Wf 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 N 7%=K9
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