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摘要 ZQ~myqx,+L 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ggI=I<7M c~UAr k S 设计任务 6WN(22Io
^8NLe9~p3?
F|?'9s*;6G
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 kAN;S<jSE O R<"LTCL 光栅级次分析模块设置 OR\DTLIl
*Z`XG_ s5
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 LuP?$~z g&+Y{*Gp
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 H 5rPq_R
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 M6]0Y@@>
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 >u5g?y zw
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 *)bd1B# 衍射分束器表面 :%#r.p"6x
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 r jL?eTU"s
f[Fgh@4cj 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 5U{4TeUH
sr+gD* @h
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 _t|G@D{
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 3gG+`{<
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 iog #
, mT6q}``vtG 光栅级次和可编程光栅分析仪 .vN%UNu
6!+X.+ [Iw>|q <e
设计与评估结果 @1v 3-n=
相位功能设计 x^)g'16 `
结构设计 0AK?{y U
TEA评价 dXiE.Si
FMM评估 1Sg|3T8bGT
N )zPx Q 通用设置 ]eYd8s+
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 K[uY+!'1
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 4YDT%_h0 QSHJmk 6L 纯相位传输设计 m!5HRjOO
9D OkQnnc &@YFje6Lcm 结构设计 eQU-&-wt0
-,QKTxwo> Y ^R?Q' 更深的分析 W?qpnPW
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 7q%|4Z-~
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 C} b|2y
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 5^i.;>(b
 <.,R Bo
使用TEA进行性能评估 y]}b?R~p= ]?0{(\
*A?8F"6> 使用FMM进行性能评估 onnI !
0 kf(g156 *.," N} 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 `d7gm;ykp
l`@0zw+ t =n+3`g 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 k""> 2#V
XC |* A$x, |DN^Nht E 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 "^;#f+0
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