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摘要 *K!++k!Ixa 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 (i`(>I.(/ D&{
*AH%Q 设计任务 Hhv$4;&X
U{1z;lJ
Df=q-iq<{/
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 iyM^[/-R6 |qUrEGjiSS 光栅级次分析模块设置 B4W\
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(Pi-uL<[a
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 av' *u 5{l1A (b
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 (aKZ5>>cN
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 Ti= 3y497S
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 S ~|.&0"\
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 !oMt_k X 衍射分束器表面 g()m/KS<
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 tHI *,
D s -` 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) =MS u3<y,
Z;<ep@gy~
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 moO _-@i
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 LHi6:G"Y(
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 !WKk=ysFS * BOBH;s 光栅级次和可编程光栅分析仪 )SiY(8y
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设计与评估结果 z+"0>ZN&
相位功能设计 DP>mNE
结构设计 h([0,:\
TEA评价 :XS"# ^aJ
FMM评估 Q4%IxR?
R;THA! 通用设置 -CU,z|g+
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 T-P@u-DU
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 3?ba
1F0Nw 2V$9ei6 纯相位传输设计 87 8tI3-
1q!sKoJ< U42\.V0 结构设计 .BL:h&h|y
> eo8 D8/sz`N7Q 更深的分析 l<RfRqjw
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 s^Pm nFR
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 @3 "DBJ
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 (46U|P(v
 )6 G+ tU'
使用TEA进行性能评估 LXxl ?D ^
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r}@< K 使用FMM进行性能评估 2{};6{yz
XI
g|G}i. w4}(Ab<Y 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化
lt%-m@#/
S ljZ~x,! nDn{zea7 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 AzX(~Q c
,CW%JIM
* D3 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ri EqW}{
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