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摘要 |-b#9JQ[A 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 %Si6]3-^@ Yc`o5Q\> 设计任务 cF\;_0u
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 2VPdw@ "~} ud63f` W]4 光栅级次分析模块设置 0B[="rTS7#
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 @CNi{. RX -5)H<dAQZ
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 q?H|o(
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 S~<$H y*kh
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 $1SPy|y
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 DKH-Q(M56 衍射分束器表面 Ij 79~pn
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 KsddA
l .(v^3:X 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ~b(i&DVK
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ?'IP4z;y
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 , |0}<%
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 DMs,y{v $ ux,9H'[ 光栅级次和可编程光栅分析仪 a f6M,{F
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设计与评估结果 #./fY;:cj
相位功能设计 CYt?,qk-r
结构设计 >R|/M`<ph
TEA评价 J ; S
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FMM评估 Z3%}ajPu[
Zj_b>O-V 通用设置 s'3
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 @MoK Wfc
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 T! uM+6|Y .7^c@i[ 纯相位传输设计 D,FHZD t
JX<)EZ!F sZ'nY o 结构设计 a a<8 ,;
)z>|4@, 3W V"U 更深的分析 GL&y@6
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Z~GL5]S
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 <xup'n^7C
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 -Mi p,EO
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使用TEA进行性能评估 Ii6<b6- o5d%w-'
_ "E$ v&_ 使用FMM进行性能评估 P)"noG_'i
qjc 8fP2 e4-@ f%5 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 y+Ra4G#/}
JR' iyN :%ofh 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Ltv]pH}YN
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b 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 &)2 i[X
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