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摘要 RPLr7Lb 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 L5U>`lx6$ y 5=J6a2. 设计任务 -'Z P_$sA
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ECl[v%R/6
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 \2~.r/`1 /oWB7l& 光栅级次分析模块设置 ti'OjoJL
QAu^]1 ;
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 }
1c5#Ym X2o5Hc)l<
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Gew0Y#/
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 rNI3_|a
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 4CNK ]2
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 FS H6C2 衍射分束器表面 J| 3 CG;+
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 23Eg|Xk
W+Iln`L 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) D4`7,JC}<
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 n cihc$V<
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
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傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 KxiZx I F[ 9IHT6{ 光栅级次和可编程光栅分析仪 {'{ssCL
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设计与评估结果 ~lQ]PKJ"
相位功能设计 Hjlx,:'M
结构设计 ]%NCK OM
TEA评价 n)
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FMM评估 zYH6+!VBH#
egKY lfe" 通用设置 _*&<hAZj
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 YMz[je
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 rs\*$20 0z\=uQ0 纯相位传输设计 b/E1v,/<
UlQ }
% #|S 结构设计 ox)/*c<
WqwD"WX+w ,P5HR+h 更深的分析 Cvi-4
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 R:OoQ^c
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 ~l.]3wyk
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 g"<k j"
 Hs2L$T X
使用TEA进行性能评估 o1YhYA v82@']IN
cj5p I?@e) 使用FMM进行性能评估 b/WVWDyob/
~d> O.*Q) VSM%<-iQ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 \5X34'7
I]TL#ywF x +%lNR 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 I%p Q2T$;
*:)#'cenI XIf,#9 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 +Hv%m8'0|
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