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摘要 X._skq 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 gL%%2 }$ Kx.' ^y 设计任务 no Y~fq/U
KL:x!GsV5e
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 b&:>v9 U shjc`Tqm 光栅级次分析模块设置 )eFXjn HN
4]L5%=atn
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 mQ 1) d5 FEqs4<}E
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ^z&eD,
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 ~R7F[R
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 v ~|~&Dwq
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 #+)AI f 衍射分束器表面 t)|*-=
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 E6"+\-e
l*^J}oY 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 3IXa i)6U
+"8 [E~Bih
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 )?35!s6
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 up+W[#+
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 /.1c <! (,Zy 2wr= 光栅级次和可编程光栅分析仪 X}T/6zk
YyOPgF] M I'&#pOB
设计与评估结果 <A{|=2<
相位功能设计 A*d Pw.
结构设计 L?~ >eT
TEA评价 eVL #3|=
FMM评估 y
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WZz8VF 通用设置 >< <(6
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ,;3#}OGg
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 a?Q\nu1 { +d](+$ 纯相位传输设计 =T_E]>FF9
gc~nT/lfK #2*l"3.$.R 结构设计 ODvlix
L=`Q F'Im =Uy;8et 更深的分析 HEqTlnxUu
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 m]C|8b7Y
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 WiDl[l"{9
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 &(M][Uo{|'
 ~Mk{2;x
使用TEA进行性能评估 G]Rb{v,r =;9
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&BF97%E2 使用FMM进行性能评估 N=Q<mj;,
;E,^bt<U R]dN-'U 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 %:yp>nm
w'Y(doY , ~_l@
_P5yz 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 WBb@\|V|
z{wW6sgP r Vq8 G( <77 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 .bdp=vbA
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