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摘要 tWn
dAM(U7 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 {+9RJmZg qfsPX6] 设计任务 #*bmwb*i q-! H7o 6f +aGz 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 o2
ng ZWkRoJXNi 光栅级次分析模块设置 ",,# q /\%<VBx ?q 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 C*mVM!D);! F! !HwI 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 6*i** 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 t5{P'v9J 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Y,s EM% 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 sZrVANyqb 衍射分束器表面 m(8Tup| 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 :)#;0o5 coAXYn 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) n^nE&'[?0g krfXvQJwJ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 _v&fIo 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 9JFN8Gf*) 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 LGt>=|=bj ~&RTLr#\*M 光栅级次和可编程光栅分析仪 x*Z'i<;B C@XS "0HUaU,e 设计与评估结果 r,;ca6>5H 相位功能设计 +Kk1[fh-
结构设计 tLu&3<% TEA评价 T >8P1p@A, FMM评估 e(7#>O%1 !Ubm 586! 通用设置 [1rQ'FBB^1 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 =e6pv# 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 (p2`ofj \\SQACN 纯相位传输设计 e \Qys<2r DZ|*hQU>K |O(>{GH 结构设计 G|,&V0* |2do8z 2W+~{3[# 更深的分析 uZ?P{E,K •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ZN8j})lE •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 g@#he95 } •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 dWd%>9}
'OnfU{Ai 使用TEA进行性能评估 l>\EkUT t2,II\Kl .{ v$;g 使用FMM进行性能评估 wlNL;W@w $5pCfW8> 5&8E{YXr 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 v*.R<-X: }T[@G6# m%L!eR 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 hJM&rM7 eu5te0{G btg= # u 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 o^epXIrIPi
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