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摘要 Jx+6Kq( 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 6\7c: pq)
= 设计任务 5=?P 6I_$G
B=cA$620
A]bQUWt2
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 <O+GXJ2 ;U'\"N9 光栅级次分析模块设置 liS'
XY'= _5t
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 d_ `MS@2 *HD(\;i-$
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 q9vND[BQ
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 q1VKoKb6\:
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 +v
B}E
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 RnH?95n?{ 衍射分束器表面 \Eh5g/,[
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 p(RF
D| zuj] 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) V 48_aL
li%@HdA!
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 UCVYO.
9"
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 p6j-8ggL
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 I2/am8!u% !}6'vq 光栅级次和可编程光栅分析仪 @|:fm()
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设计与评估结果 ya2sS9^T[
相位功能设计 .JKH=?~\
结构设计 eX" %b(;s
TEA评价 ajycYk9<m
FMM评估 T9c7cp[
|cC3L09 通用设置 ~u*4k:2H
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 9y7 hJib
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 [x)T2sA RFbf2s\t 纯相位传输设计 5J`w8[;
aA?Qr&]M mPA)G,^ 结构设计 )cH\i91
XgxO:"B 0 gqV>: 更深的分析 - egTZW-
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ,It0brF
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 QuS=^,]
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 +j: &_
 :0@0muo
使用TEA进行性能评估 ;.jj>1=Tnl c7+6[y DVE
xtGit} 使用FMM进行性能评估 Nd( I RsH(
IS8 sJ6") :NL Y;B` 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 #_ulmB;
+\+j/sa d\qszYP[ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 >C,0}lj
MZ%J
]Nd iJOoO"Ai 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ;8#6da,
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