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摘要 -WGlOpg0; 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 $MM[`^~ ]jR-<l8I- 设计任务 ]
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 N1U.1~U Gbv bGEG 光栅级次分析模块设置 v2YU2 -X[
OK
z5;#S=
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 xJOp ~fKG V h 5\'Sn
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 sBNqg~HwB?
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 "Q{7X[$$^
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 bvT$/ (7
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 V-"#Kf9 衍射分束器表面 c#@L~ <
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 y-Lm^ GW4
CYM>4C~>JW 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) IcNZUZGE
F'ez{ B\AX
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 R0F&!y !B
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 %mOQIXr1s
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 Ki /j\ Q{
{ = 光栅级次和可编程光栅分析仪 EV;"]lC9
d^"|ESQEU m,F4N$
设计与评估结果 p.,`3"C1
相位功能设计 $M1;d1e6'
结构设计 #=Whh
9-d
TEA评价 -)DxF<8B
FMM评估 [5GzY`/m
<B+
WM 通用设置 rgEN~e'
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 >=3oe.$)
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 eXkpU7w; Q0L1!}w
纯相位传输设计 LDDt=HEY4
_ ?XR;2 ] "a<:fEsSE 结构设计 .AF\[IQ
OSwum!hzN t *-_M G 更深的分析 `U>]*D6 8
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 02^Nf7DMR
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 u!McPM8Yk
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 3X9
 EIOP+9zP
使用TEA进行性能评估 |#B)`r8 iS`ok
(7X^ z&2 使用FMM进行性能评估 P R_|
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I"D}amuv !{A#\~, 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Uu|R]azbO
/^`d o3a } +0:]KG!Zs. 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 0aYoc-( A
)\{]4[9N 4u1 au1c 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 o9Tsyjbj
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