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摘要 tWn
dAM(U7 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 {+9RJmZg qfsPX6] 设计任务 #*bmwb*i
q-! H7o
6f +aGz
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 o 2
ng ZWkRoJX Ni 光栅级次分析模块设置 ",,# q
/\%<VBx ?q
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 C*mVM!D);! F! !HwI
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 6*i **
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 t5{P'v9J
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Y,s EM%
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 sZrVANyqb 衍射分束器表面 m(8Tup|
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 :)#;0o5
coAXYn 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) n^nE&'[?0g
krfXvQJwJ
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 _v&fIo
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 9JFN8Gf*)
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 LGt>=|=bj ~&RTLr#\*M 光栅级次和可编程光栅分析仪 x*Z'i<;B
C@XS "0HUaU,e
设计与评估结果 r,;ca6>5H
相位功能设计 +Kk1[fh-
结构设计 tLu&3< %
TEA评价 T >8P1p@A,
FMM评估 e(7#>O%1
!Ubm 586! 通用设置 [1rQ'FBB^1
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 =e6p v#
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 (p2`ofj \\S QACN 纯相位传输设计 e \Qys<2r
DZ|*hQU>K |O(>{GH 结构设计 G|,&V0*
|2do8z 2W+~{3[# 更深的分析 uZ?P{E,K
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Z N8j})lE
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 g@#he95 }
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 dWd%>9 }
 'OnfU{Ai
使用TEA进行性能评估 l>\EkUT t2,II\K l
.{ v$;g 使用FMM进行性能评估 wlNL;W @w
$ 5pCfW8> 5&8E{YXr 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 v*.R< - X:
}T[ @G 6# m%L!eR 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 hJM& rM7
eu5te0{G btg= # u 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 o^epXIrIPi
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