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摘要 zz(|V 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 |,oLZCNa =:w,wI. 设计任务 V~/-e- 9u xl,%
Z~[ u*=^>LD 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 bsU$$; m^qFaf)6 光栅级次分析模块设置 '5$@I{z Q"{Dijc% 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 pQ0*)}l, }cCIYt\RK 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 [fT$# '6 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 ^c}3o|1m( 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 #9[> 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 =6:9y}~ 衍射分束器表面 a*X{hU9P 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 G]k[A=dg SZr c-f_ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) w8Z#]kRv XPMUhozV 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 zw+wq+2" 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 >5kz#|@P 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 JHm Pa ey[Z<i1 光栅级次和可编程光栅分析仪 <^5$))r BRY/[QRqZ +kYp!00 设计与评估结果
WZ,k][~ 相位功能设计 aBaiXv/* 结构设计 \ Xh
C TEA评价 ~ <K,P
FMM评估 LFi* O& zT&"rcT"> 通用设置 rBQ<5. 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 1DAU*^- 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 Q) aZ0 Pt _)= e`9% 纯相位传输设计 &XcPHZy' Nk\ni>Du3
qCrpc= 结构设计 0F- +)S?M[ FT6C KsM" psIo[.$rTk 更深的分析 dg#Pb@7a •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 0Mn|Yb4p •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 H6K8. •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 W>+`e]z
?b(wZ-/ 使用TEA进行性能评估 Lks+FW
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7gHp 9"S iHp\) 使用FMM进行性能评估 p>?(uGV ydO G8EI )_j(NX-C: 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 PDS( /x& x(Ew Hg>; \ Qx%76 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 RaSuzy^`*] p JF
9Z -U$;\1-- 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 9@"pR;X@
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