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摘要 -E>se8 %" 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ]J6+nA6)
hXM2B2[ 设计任务 :>GT<PPD;
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 ^"\., Y fP
5!`8 光栅级次分析模块设置 *|Fl&`2
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 > [|SF%
Le':b2 o
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 fl18x;^I
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 4!r>
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3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 gH zjI[WI
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ^Wz3 q-^ 衍射分束器表面 jw!QjVuRN%
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 bU i@4S
ds9`AiCW> 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) : j m|)
kg_f;uk+
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 `[J(a u$z
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 3tTz$$-#
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 ,Uv8[ci%9 y Yvv;E 光栅级次和可编程光栅分析仪 ,.+"10=N.
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设计与评估结果 t F d^5A*
相位功能设计 A *:(%!
结构设计 UW[{Y|oE
TEA评价 B<Ynx_ 95
FMM评估 6c>tA2G|8
?ixzlDto\ 通用设置 dsxaxbVj%
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 C4P7 ,
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 x6x6N&f? _(\\>'1q! 纯相位传输设计 6)eU &5z1?
Pk; 9\0k7 C9}2 F{8 结构设计 {&c%VVZb:Z
uGQCW\!"4 :6z0Ep" 更深的分析 xIo7f
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 =;3 |?J0=
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 B|O/h! H.
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 XjwTjgL <
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使用TEA进行性能评估 >P=xzg79 NwG&uc+Q
x./jTebeO 使用FMM进行性能评估 ZtEHP`Iin
*3<m<<>U _+8$=k2nM 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 XY| -qd}A
'eo2a&S2D R^F99L 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 /d > fp
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