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摘要 C1`fJh y 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 d[F3"b% 8l>7=~Egp 设计任务 \? n<UsI
M!`&Z9N
t5aX9WIW
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 {i<L<Y(3 + Pc2`,pw| 光栅级次分析模块设置 GU0[K#%
h1~/zM/`
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 rDW wu ' :bq$ {
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 \IhHbcF`d
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 oe*fgk/o9
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 b:PzqMh{G
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 V
7oE\cxr 衍射分束器表面 WR9- HPF
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 (sW$2a
8]i7 wq#= 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) '=+gwe M
+V9 (4la
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 cpm *m"Nk
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 mT>RQ .
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 ?jU 3%" 6s t^-L 光栅级次和可编程光栅分析仪 OD~y IV
5 0dx[v8 ( m7qc
设计与评估结果 q#F+^)DD [
相位功能设计 @ %o'
结构设计 PB) vE
TEA评价 {*"\6 8e
FMM评估 \' &,9lP
%v0;1m 通用设置 (ylZ[M&B:
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 {]iM5?
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 8g?2( MT; ;<=z^1X9 纯相位传输设计 Q6p75$SVq
EL6<%~,V"I a qg m 结构设计 ItE)h[86
P!! :p2fo xv7nChB 更深的分析 Pa{b kr
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 `a8 &7 J(
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 G{.A 5{
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 '<h@h*R
 p]6/1&t ="
使用TEA进行性能评估 d3 p;[;` ):V)Hrq?x
$oIGlKc:L 使用FMM进行性能评估 ^3nB2G.ax
%sS 7o3RW\ o2^?D`Jr 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 $]b&3_O$N8
EU() Nnm2 9|hPl-.
.W 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 7P D D
Ec['k&*7, p+R8Mo;I 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 :w 4I+* ]
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