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摘要 v ! 8=B21 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 SfnQW}RGI 6,A|9UX=` 设计任务 P{-- R\
gL B(A\yG
=w! ik9
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 Xva(R<W7d< . P$m?p # 光栅级次分析模块设置 _"ciHYHBQ
R kE)2q[5
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 3l~+VB R_ uYMn VE"
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 >I|8yqbfm
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 ?1D !%jfi
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 u<Kowt<ci
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 SHX`/ 衍射分束器表面 y)fMVD"(
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Qds<j{2
B;r _[^ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) l S)^8
&t^* 0/~
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Lw}-oE
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薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 oI;ho6y)
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 ~;3yjO)l?) ^e8xg=8( 光栅级次和可编程光栅分析仪 ]~aj
!+%gJiu : WR{m?neE_N
设计与评估结果 uQIPnd(V
相位功能设计 >$JE!.p%o
结构设计
HG;;M6
TEA评价 hSm?Z!+
FMM评估 w$:\!FImx
C2}y#A I 通用设置 7GOBb |
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 8Yh'/,o=L#
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 bzFac5n)Q G*I 纯相位传输设计 ^OKm (
h m RmU{(Y ! :&SfPv 结构设计 ga;nM#/
'2.ey33V a;xeHbE 更深的分析 DyN[Yp|V
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ZaYiby@Ci
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 uO]D=Z\S(
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 {Dpsr` &
 x4I!f)8Q
使用TEA进行性能评估 ,<U =
7<NU b* n3Fej
SaXt"Ju,AH 使用FMM进行性能评估 G'\[dwD,u
.o/|]d`% K1 "HJsj 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 M t4
46=E- T q 9<u&27. 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 y||
n9
d_25]B( $5i\D
rs 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 j2D!=P K;
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