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摘要 .eabtGO, 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 %- ZR~* t&9as } 设计任务 s1Tl .p5
[|[sY o
XiRT|%j
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 g{ v5mly sUbz)BS#. 光栅级次分析模块设置 <p^*Ydx
Z<N&UFw7QJ
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 6L8t z 8 prlyaq;4
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 -4vHK!l
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 -eR!qy:.]5
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 gVa+.x]
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 XSp x''l 衍射分束器表面 K$<`4#i
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Ld\L Kwo
8|5Gv 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) :kb1 }Wu
Q 7 uAf3
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 GJ C!0{8;
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 0q [p{_t`
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 ;]gsJ9FK< i'W_;Y} 光栅级次和可编程光栅分析仪 DJViy
V8sH{ R- s; B
j7]
设计与评估结果 @V* ju
相位功能设计
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结构设计 fiE>H~
TEA评价 0i8[=
FMM评估 /nC{)s?S'
dThR)Z'= 通用设置 &/ >;LgN
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 t} *l?$`
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 %[]" QbF? dGbU{#"3s 纯相位传输设计 AI1@-
{D_++^ ^))PCn_zb 结构设计 (dzH3_U
E-UB -"6 h8f!<:rTS 更深的分析 zmrQf/y{R
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ,f8}q]FTA
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 (3
IZ
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 `zdH1 p^w
 k $e D(cW$
使用TEA进行性能评估 $}qDV>
qo Nb~,`bu,2
==%`e/~Y 使用FMM进行性能评估 &K i> h
A", e S6 F&=I7i 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 8weSrm
UWQtvQ
f [J a)<!]< 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ] Nnxnp
h&)fu{ vuYO\u+ud 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 7JbY}@
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