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摘要 3| '#n[3 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 0@e}hv; XG\a-dq[ 设计任务 L[D/#0 qp
6v2RS
2*FWIHyf
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 EBDC ' ^ vu'!-K=0 光栅级次分析模块设置 +?5Uy*$
q%kj[ZOY$]
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 i h$@:^\ 400Tw`AiJ
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 B-ri}PA
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 e" s {_V
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Th;gps%b
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 K,C $J
I 衍射分束器表面 qp~4KukL
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ~q]|pD"\K|
3e!Yu.q: 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Puth8 $
[>M *_1F
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 dj y:
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 WP% {{zR$
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 ),y!<\oQ bUAR<R'E 光栅级次和可编程光栅分析仪
u5{5ts+:
#-gGsj;F %M;_(jda
设计与评估结果 v1"g!%U6
相位功能设计 l`M5'r]l
结构设计 32bkou q
TEA评价 v-7Rb )EP
FMM评估 UU;-q_H6
gGI#QPT`X 通用设置 ]2xx+P#Y
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 JJ
N(M*;
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 EYJ i6# I"F
.%re 纯相位传输设计 mS w?2ba
/: Z~"Q*r =_ ? pOq 结构设计 y[^k*,=
9
%g]$ Vfpy "3Xv%U9@ 更深的分析 :uIi
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•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 7$1fy0f[l
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 bU:}ZO^S
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 P+;CE|J`X
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使用TEA进行性能评估 ni"$[8U 6 <qwP?WN
bQ^DX `o6P 使用FMM进行性能评估 /+x#V!zM
\&\_>X., 0U ~;%N+lv 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 d Y:|Ef|v(
56bud3CVs ]8xc?*i8 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 6=G~6Qu
, N @Yk. 8z."X$ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 #90[PASx
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