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摘要 eS
?9}TG| 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 s Iaehe'B udr|6EjD. 设计任务 *,O3@,+>H
<GQ=PrT|/
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 06.8 m;{N OT|0_d?b D 光栅级次分析模块设置 )*u o tV
[U ^C z{G
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Mz Kl=G l" X,[
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 z +wegF
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 a+k3w zJ
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Y|hd!C-x
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
t Iod=a) 衍射分束器表面 8JR&s
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 5{1=BZftZ
7MJ\*+T|03 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) \21Gg%W5AE
\' A-
Lp
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 *x p_#
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 =c&.I}^1 L
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 ZDI?"dt{ e F}KOOfC 光栅级次和可编程光栅分析仪 DXO'MZon3
UEYJd&n0CB awz.~c++
设计与评估结果 OR|Jc +LT
相位功能设计 $*_79F2zN
结构设计 &P35\q
TEA评价 a[}?!G-Wt|
FMM评估 I*cb\eU8Y
la 0:jO5 通用设置 xc`O \z_)
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 BAi0w{
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 Rd]<591 {o*$ |4q4 纯相位传输设计 ^vxNS[C`;
e(b$LUV +eLL )uk 结构设计 j*f\Z!EeZ
r[7*1'. p P;'ZdZ(SLu 更深的分析 D97 v fC
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 i tiSZL,
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 8+Gwv
SD U
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 SsfC
m C
 e6{E (=R[M
使用TEA进行性能评估 sP% b? 6 =9p3^: S
o :4#Ak S 使用FMM进行性能评估 }rs>B,=*k
n8T'}d+mm 10m|? 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 `@:TS)6X0
V
joVC$ZX .XkVdaX 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 #67 7,dn
*1_Ef). TK~ KM 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 d(b~s2\i
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