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摘要 {hOS0).(w7 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ChUE,) $Bnc df 设计任务 NwOV2E6@OW
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wAp
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pK8
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 Vb#a ,t R=a4zVQ 光栅级次分析模块设置 V,VL?J\
T=~d. &J
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 6 8bvbig MY b^G\K
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 iex%$> "
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 x
~ )~v?>T
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 aY,Bt
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 @8`I !fZ 衍射分束器表面 kmT YRl
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 1E||ft-1i*
b'SP, }s5" 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 3^&`E} r
" 1a!]45 +
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 >G"fMOOkW
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 M0C )SU5"
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 aqk$ 4IG #m UQ@X@K 光栅级次和可编程光栅分析仪 b"#S92R+
F-o?tU 4P)#\$d:
设计与评估结果 W3Ee3
相位功能设计 6y
Muj<L
结构设计 t {1 [Ip
TEA评价 E<! L^A
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FMM评估 Bi;a~qE
E <j=5|0t 通用设置 n2-+.9cY
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 YWd2bRb
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 F[O147&C "]p&7 纯相位传输设计 YwY?tOxBe
!D{z. K O gn/]1NNfR 结构设计 6rmx{Bt
`Nvhp]E k0\a7$}F 更深的分析 e~)4v
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 5QXU"kWH
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 r9bAbE
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•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 I*o6Bn
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使用TEA进行性能评估 ND?"1/s Z)~?foe'
WW3Jxd 使用FMM进行性能评估 :+QNN<
TBJ?8W( WhH60/` 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Cb<7?),vK
6ZI7V!k cy
mC?8< 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Kc^ctAk7;
@,Dnl v|? tGl|/ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 Zp_j\B
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