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摘要 +CSR! 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 @t$yg$Q?[ ".#h$ 设计任务 %Q]thv:
?LU>2! jN
OR+py.vK
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 LXrk5>9 8$iHd 光栅级次分析模块设置 p*@t$0i
FoZI0p?L)9
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 j!k$SDA- ;tA$
x!5]
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 &><b/,]
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 pTTM(Hrx
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 5K$<Ad4$b
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 v AeVQ~ 衍射分束器表面 unz~vG1T n
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 , v=pp;
ubVZEsoW? 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) OBF-U]?Y
w6Mv%ZO_
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 u:l<NWF^
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 SXJjagAoML
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 l)jP!k .i|nn[H & 光栅级次和可编程光栅分析仪 N0\<B-8+,>
? `kZ 6$ %i?v)EW
设计与评估结果 =9p3^: S
相位功能设计 p - DH TX
结构设计 -GB,g=Dk
TEA评价 jt* B0'Sa
FMM评估 cdSgb3B0
;AL:V U 通用设置 W* v3B.
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Pl`Nni y
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 .XkVdaX #67 7,dn 纯相位传输设计 9GTp};Kg
;3bUgI}.J {L.uLr_?e 结构设计 ^%LyT!y
EUV8H}d5 K,U 8 vc 更深的分析 vO/ 3bu}
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 G) Y,*.,
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 7 i#/eRui
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 WoNY8
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 D$NpyF.87
使用TEA进行性能评估 *_}0vd #<u ;. 'R
C 'Y2kb 使用FMM进行性能评估 Mto OIkQ
C[#C/@ kh#fUAt 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 p:0X3 ?IG3
zf^|H%
~^
fWi/mK3c 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 asCcBp
%9S0!h\ $P%cdJ T0 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 N0NFgW ;
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