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摘要 {hOS0).(w7 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ChUE,) $Bncdf 设计任务 NwOV2E6@OW -z.
wAp {5
pK8 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 Vb#a ,t R=a4zVQ 光栅级次分析模块设置 V,VL?J\ T=~d.&J 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 68bvbig MYb^G\K 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 iex%$> " 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 x
~)~v?>T 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 aY,Bt 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 @8`I!fZ 衍射分束器表面 kmTYRl
)j 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 1E||ft-1i* b'SP,}s5" 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 3^&`E}r "1a!]45 + 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 >G"fMOOkW 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 M0C)SU5" 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 aqk$4IG #mUQ@X@K 光栅级次和可编程光栅分析仪 b"#S92R+ F-o?tU 4P)#\$d: 设计与评估结果 W3Ee3 相位功能设计 6y
Muj<L 结构设计 t {1 [Ip TEA评价 E<! L^A
M` FMM评估 Bi;a~qE E <j=5|0t 通用设置 n2-+.9cY 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 YWd2bRb 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 F[O147&C "]p&7 纯相位传输设计 YwY?tOxBe !D{z. KO gn/]1NNfR 结构设计 6rmx{Bt `Nvhp]E k0\a7$}F 更深的分析 e~)4v •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 5QXU"kWH •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 r9bAbE
bI •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 I*o6Bn
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; 使用TEA进行性能评估 ND?"1/s Z)~?foe' WW3Jxd 使用FMM进行性能评估 :+QNN< TBJ?8W( WhH60/` 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Cb<7?),vK 6ZI7V!k cy
mC?8< 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Kc^ctAk7; @,Dnl v|? tGl|/ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 Zp_j\B
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