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摘要 EZjtZMnj 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 H
I_uR$m [PUu9rz# 设计任务 #O;JV}y GrJLQO0$N x>##qYT 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 RzL(Gnb MIr+4L 光栅级次分析模块设置 Mth:V45G| ojlyW})$% 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 I-g/)2 \B84 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 P[G>uA>Z1 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 p$|7T31 * 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 @>VVB{1@,] 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 MaHP):~ 衍射分束器表面 K y%lu^ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 J+E,Ui ZU <]1,L% 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) EmcLW74 300w\9fn& 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 2 HQ3G~U 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 T#3@r0M 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 #L+:MA7H u)<s*jk 光栅级次和可编程光栅分析仪 RfTGTz@H 9!uiQ PgK7CG7G 设计与评估结果 ;TWLo_ 相位功能设计 /IRXk[ 结构设计 S$Zi{bU`G TEA评价 BXYH&2]Q FMM评估 qJdlZW< X@DW1<wEt 通用设置 2NMs-Zs 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 '{jr9Vh 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 b@;Wh-{d ={ms@/e/T 纯相位传输设计 ?![[la+f kzRJzJq uP PY^#hC5: 结构设计 yzhNl'Rz @ps(3~?7 GcdJf/k 更深的分析 V3t#kv •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 =otO@22Np •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 l,4O •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 Ck
Nl;g l
_2!8,MX 使用TEA进行性能评估 >SK:b/i 1Hr}n6s 8XB[CbO 使用FMM进行性能评估 t+8e?=" V9<`?[Usv 3O/#^~\'hW 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 7pyzPc#_ 3OZPy|".ax :D) (3U5 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ;2<5^hgk IA@>'O wu)+n\mt' 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 5 aA*
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