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摘要 `V$cz88b 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 Va&KIHw t(Cq(.u` : 设计任务 :z}~U3,JE
Zz wZ, (
3RG/X
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 ,5%aP% 4p0IBfVG 光栅级次分析模块设置 =t <:zLe
aa'0EU:
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 !dYX2! lvT l93Q"*_
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 |O #w dnYW
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 _,Io(QS
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 ~j\;e
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 C gaB) `. 衍射分束器表面 `RL(N4H
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 JRcuw'8+q
4l# T_y 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 'ocwXyP,
F\YcSDM
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 gGceK^#
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 > (YPkmH
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 Yn?2,^?N %K/G+ 光栅级次和可编程光栅分析仪 Qg86XU%l
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设计与评估结果 Qv T-&|
相位功能设计 * U5> j#,
结构设计 M2;(+8 b
TEA评价 x Jj8njuq4
FMM评估 2Q;Y@%G
EUY a =- 通用设置 KX=:)%+
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 *R qO3=
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 !SD [6Z.R S| Ij q3 纯相位传输设计 %`<`z yf
GurE7J^= S{r)/ ~/ 结构设计 y( "0Xve
a5A cqa :pV("tHE 更深的分析 jd*%.FDi{
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 n!E H>'T
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 %V" +}Dr
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 LMhY"/hAXa
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使用TEA进行性能评估 emDvy2 uA# v"?PhO/{=
c`N`x U+z 使用FMM进行性能评估 ( B~V:Yt
\?`d=n= ,:Ix s^- 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 vN6]6nUOiT
=-B3vd:LF m6ZbYF-7W 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Fl A$ G3
c 6}xnH ~IN$hKg^ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 H)}1xQ{3F
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