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摘要 DvY)n<U1qA 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 \
k & ZA ,"?xy-6 设计任务 Esdw^MGL2
O:jaA3
, L-G-V+
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 Ti&v9re%wO ky I~ 光栅级次分析模块设置 S^_F 0</U,
Lrq e:\
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 `gz/?q ZG8Xr "
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Uf#9y182*c
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 =`.OKU An
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 > r.W \
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 + I4s 0 衍射分束器表面 ;TulRx]EA
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 I 8VCR8q
); d"gv(]D 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) j.+ }Z |
:(#5%6F
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ,tak{["
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 mT,#"k8
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 ?[2>x{5Z > *soc!# Y 光栅级次和可编程光栅分析仪 k1~? }+<e
23/;W| Ch73=V
设计与评估结果 q,>4#J[2;s
相位功能设计 G{gc]7\=Cd
结构设计 NR98]X
TEA评价 <KFl4A~
FMM评估 }70A>JBw
</D )i 通用设置 Pxf /*z
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 #,9#x]U#v
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 CTJwZY7 {_UO S8j7 纯相位传输设计 sBLOrbo
+aN"*//i Y|E rVf4 结构设计 VcLzv{
!v q|*8 eu'S~c- l 更深的分析 +mC?.B2D
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 f /t`B^}@
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 v(zfq'^%`
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 bWJ&SR>
 gv,1 CK
使用TEA进行性能评估 i5SDy(?r 7m8(8$-6
A45! hhf 使用FMM进行性能评估 Y T6dI"48
"(Nt9K%P) -6$GM J7 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 o{3>n" \w3
rTqGtmulG pA6A*~QE 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 xqfIm%9i}
B +MnT{ lN x7$z ` 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
?}#Iu-IA
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