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摘要 5''*UFIF1 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 #;9 H@:N 2x$ x;
\*j 设计任务 ]XUl@Y.
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 T!q_/[i ~7 TZ^LA
L'8_ 光栅级次分析模块设置 5$l9@0D.\
p(3sgY1
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 6DS43AQs -@%%*YI>
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 y<r}"TAf -
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 W|Ldu;#
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 f~& a-
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ;cP8 ?U 衍射分束器表面 irx z l3
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 B5=3r1 Ly
.{dE}2^ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 3V Cqp13
euRss#;
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 \4~AI=aw,T
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 * Uc jQ
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 [$ :,-Q @ &a~=b, 光栅级次和可编程光栅分析仪 UKB_Yy^Y
<,39_#H?F3 B#N7qoi
设计与评估结果 3l:XhLOj
相位功能设计 Cyk s
结构设计 Ygj6(2
TEA评价 l)}t,!M6
FMM评估 eqzTQen8q
X\2_; zwf 通用设置 ,7/
_T\d<
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 k&Jo"[i&WO
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 tP'GNsq+m >[K?fJ$+ 纯相位传输设计 0<P(M: a
v4<j jn=ug42d 结构设计 O k(47nC
CyTFb$Z 7>je6*(K 更深的分析 E2:D(7(;l
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 i &F~=Q`
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 ,?=KgG1i
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 fEiJ~&{&
 &+;uZ-x
使用TEA进行性能评估 Z`xyb>$ )+GX<2_
RK)l8c} 使用FMM进行性能评估 p$OD*f_b
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lV+ q6)N*? 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 NhlJ3/J j
x-~-nn\O D0M!"c>\ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 gE= Wcb!
Vu|dV\N0* ABiC9[Q0 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 b+$o4 l/x
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