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摘要 ~)>.%`v& 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 2J$vX( c93 Ok | 设计任务 ?OoI6 3&
V>Xg\9B_
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 $UK m[:7 #Dz"g_d 光栅级次分析模块设置 ^;( dF<?'r
1q5S"=+W[
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 iS<1 C`%> i ^Jw`eAmT
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 +j+
v(-
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 M6qNh`+HO
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Y"KJ`Rx
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 8\:>;XG6f 衍射分束器表面 D To"{!
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 h"Wpb}FT
F$1{w"& 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 3vAP&i'I
#Yp&yi
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 O0`ofF N
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 1|ddG010
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 }U5$~, *p qTwl\dcncC 光栅级次和可编程光栅分析仪 +t& ) Z
,3MHZPJ?k] I?%q`GyP5
设计与评估结果 !;[cJbqnh
相位功能设计 (Pw,3CbJ
结构设计 ][V`ym-e
TEA评价 *&_cp]3-WF
FMM评估 L\c3D|
KU0Ad);e 通用设置 DcM/p8da
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 b2[U3)|oO
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 IuAu_`,Ndi w\N\J^5,Q 纯相位传输设计 5[)#3vY
fz|_c*&64 oAB: H \ 结构设计 GVn'p
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D0kz;X L 2}<2 更深的分析 Vjo[rUW
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 0L#i c61U
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 *mWl=J; u
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 LN<rBF[_:f
 Z Pq.|6&
使用TEA进行性能评估 S>*i\OnI' F9% +7Op^
NRT]dYf"z 使用FMM进行性能评估 4t/ ?b
$9X?LGUz $""k Z 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ;XjX v'
$XMpC{ > mJ`904L 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 2Kr>93O
R ;A8y KECW~e` 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ]F>#0R dc
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