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摘要 h W6og)x 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 K>Dn#"{Y
a_P8!pk+5 设计任务 , &rlt+wE
(;;%B =
V)72]p
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 Ds?
@ LE| %{WS7(si 光栅级次分析模块设置 L}pMjyM
3,=97Si=
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 `+[Ct08 \C $LjSS-
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 1%68Pnqk
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 )-%3;e<w
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 (-viP
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 xr}3vJ7 衍射分束器表面 4t]ccqX*{
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ]1h W/ !
jT>G8}h 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA)
v% 6uU
`>-fU<Q1
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 jR[VPm=
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 lKWe=xY\B
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 IcRA[
g ^3"~
T 光栅级次和可编程光栅分析仪 Wu3or"lcw*
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设计与评估结果 B;x5os
相位功能设计 >G7dw1;
结构设计 hOZ:r =%
TEA评价 } 7?_>
FMM评估 Q*4{2oQ
{Tx"G9 通用设置 =r z7 x
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 8J|2b; Vf
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 U9"g;t+/ b9nTg 纯相位传输设计 J5dwd,FQ
kjAARW >7g #e,d 结构设计 H iAj3
Ckd
j| ^UU@7cSi|G 更深的分析 kU :ge
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 tb$I8T
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 NM
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•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 +4L]Z ;k
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使用TEA进行性能评估 X1 DE ob3)bI oM
9w3KAca 使用FMM进行性能评估 ;|qbz]t2(
W%ml/ 4 UHyGW$B 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 v 9k\[E?
S\76`Ot _uXb 9 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 g'X{
K;8{qQ* J:Mn 5hdK= 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 !NqLBrcv 0
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