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摘要 c{t[iXDG 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 #/9(^6f : x9NLJI21/ 设计任务 ^ok;<fJ
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 S
Yvif gp l@om2|B 光栅级次分析模块设置 :{tvAdMl7
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 -zVa[ & 2;`"B|-T
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ;pNHT*>u,
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 (UV+/[,
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 [y T4n.f
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
0fP qO2 衍射分束器表面 wQ,RZO3
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 pTK|u! fs
K/u`W z ~A 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) =#< hT
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 %d9UW Q
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 }x1mpPND
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 [hS?d.D j]<T\O>t> 光栅级次和可编程光栅分析仪 R6Cm:4m}I
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设计与评估结果 8P!dk5 ,,O
相位功能设计 MOG[cp
结构设计 morI'6N
TEA评价 < P5;8
FMM评估 .>?["e #,
dTaR 8i 通用设置 LZ G^\c$
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 -i'T!Qg1
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 Q [p 0bD: xIrpGLPSh 纯相位传输设计 <E
BgHD)
jl2nRo -& kQlr 结构设计 4W.;p"S2
ooIMN = .KT+,Y 更深的分析 A0rdQmrOL
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 NI(`o8fN
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 J6 [x(T
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 4 _N)1u !
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使用TEA进行性能评估 ".xai.trr Ai->,<I g]
d!KX.K\NM, 使用FMM进行性能评估 Lx?bO`=qg7
!Y]}& pUP ! qcu-d5b 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 @mJN
YC=BP5^ Op)0D:BmR 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 6ddkUPTF
Z{p6Q 1u B@ zJ\Ir[ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 SC2C%.%l`
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