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摘要 =D3Y
q? Mu{mj4Y{ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 "qwRcuHY C~6aX/:
6 !+"7r6 _ sM$O> 本用例展示了...... *rW] HNz •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: N%>/
e'( - 矩形光栅界面 (o e;pa - 过渡点列表界面 ~6@~fhu - 锯齿光栅界面 bt~-=\ - 正弦光栅界面 3>?ip; •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 }3N8EmS &A%#LVjf 光栅工具箱初始化 6
rmK_Y •初始化 )_+#yaC - 开始 LfF<wDvXf 光栅 ku`'w;5jT 通用光栅光路图 y.mojx%?a •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, lr^- 可直接选择特定的光路图。 .F%!zaVIu e6{/e+/R
:*Ckq~[Hg !fz`O>-mZ 光栅结构设置 lt(,/ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 Lu-owP7nB
`[Lap=.'. •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
rro,AS} •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 6G1Z"9<2* ~r|.GY
rytizbc s-k-|4 •例如,选择第一个界面上的堆栈。 )vy<q/o+ >"ZTyrK 堆栈编辑器 - FE) •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 <2,@rYe/ •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 ztb2Ign< iiRK3m
9lny[ {9 g]jtVQH'] 矩形光栅界面 R2M,VK?Wx \
fwf\& •一种可能的界面是矩形光栅界面。 $aGK8%.O •此类界面适用于简单二元结构的配置。 |5g*pXu{ •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 Qaagi
` •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 tD>m%1'& •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 eIg2m <9u )?4m}
]`u{^f
BH*vsxe 矩形光栅界面 k&^Megcb •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 -3KB:K< •所选界面在视图中以红色突出显示。 4"7Qz z
.# M5L •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 h8S%Q|- •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 RRq*CLj
%/UQ0d~b •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 eKu&_q •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 {uckYx-A •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 A"9aEOX-?i YQ?|Vb
U yy#Xs:/ Fs&m'g
A.<X78!^ ',O@0L]L 矩形光栅界面参数 EBebyQcon •矩形光栅界面由以下参数定义 d2(eX\56Z - 狭缝宽度(绝对或相对) ]Q,RVEtKp - 光栅周期 cHR }`U$ - 调制深度 AM Rj N; •可以选择设置横向移位和旋转。 %%-kUe SX
FF
EA8(_} =`/X
Wem 高级选项和信息 :I&iDS>u1 •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 v4Nb/Y •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 PUlb(3p
` •可以设置总级次数或衰逝波级次数 J(l6(+8 (evanescent orders)。 ;=e A2 •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 r2xlcSn% •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 )3u[btm gi"v${R [NKWudq Rl S=^}> •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 wOa_" •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 DO%YOv •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 &1Az`[zKGW •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 1L$u8P^< }!.7QpA$ g@j:TQM_0 b<[eBXe 过渡点列表界面 uM4,_)L •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 pXQ&2s$ •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 (+Uo;)~!YC •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 *:d_~B?Tn w=f8UtY9@A x3WY26e 过渡点列表参数 *Pq`~W_M7 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 I#A`fJ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 :;|x'[JoE?
,p 'M@[ V];RQWs _VM J q9. •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 QeQbO •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 #Io#OG<7b •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 "Dy&` ]_-$
A"P1B] OPjscc5 高级选项及信息 (/N`Wu •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 h?CNChRJs ? jOpW1
Y#N'bvE|% }Rf }
iG 正弦光栅界面 X0C\87xfG •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 ~MQN& •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 %EVg.k$ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: c76^x
- 脊的材料:基板的材料 82w<q( - 凹槽材料:光栅前面的材料 ll5Kd=3 ^.<IT" SE/@ li $[1 M2>[ 正弦光栅界面参数 T&0tW"r? - 正弦光栅界面也由以下参数定义: <LLSUk/ •光栅周期 JE?XZp@V •调制深度 %ZZ}TUI W - 可以选择设置横向移位和旋转。 Ep'C FNbtW - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 O0Z'vbFG 'i@Y #F%D g1}RA@9 7"S|GEs: 高级选项和信息 =lffr?#&B •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 m\k$L7O O=+C Kx@
#:{u1sq; 8.A ;
I< 高级选项及信息 ~7Jc;y& •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 MZ+"Arzb nH_A`m3%/ 66BsUA.h 锯齿光栅界面 :{Y,Nsa •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 nGuF,0j •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 `bx gg'V •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: = F:d#j>F - 脊的材料:基板的材料 g"#+U7O - 凹槽材料:光栅前面的材料 Nd( $s[ >o[T#U
lvFHr}W g:*yjj 锯齿光栅界面参数 ciXAyT cG •锯齿光栅界面也由以下参数定义: 1o$<pZZ - 光栅周期 $AX!L+<! - 调制深度 .jRXHrK; •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 wv*r}{%7g[ •可以选择设置横向移位和旋转。 2R1W[,Ga! •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 jy1*E3vQ !G 8SEWP ME7JU|@Z c5]1aFKz 高级选项和信息 T0Gu(c`1d •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 yX)2
hj:s a(<nk5 探测器位置的注释 Karyipn} 关于探测器位置的注释 GCIm_
n •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 O!|:ZMjF •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 %RJW@~! •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 k!!o!r BS •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 `5gcc7b •可以避免这些干涉效应的不良影响。 MbJV)*Q $A-b-`X
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