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摘要 g!9|1z E>`|?DE@ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 dP`B9>r 3xiDt?&H
ZDov2W tBX71d
T 本用例展示了...... e6^}XRyf •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: S5d - 矩形光栅界面 "\=Phqw - 过渡点列表界面 h_SkX@"/- - 锯齿光栅界面 =%c\<<]aV - 正弦光栅界面 8_"NF%%(n •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 +w"?q'SnF q alrG2
光栅工具箱初始化 _ElG&hyp •初始化 D2=zrU3Y64 - 开始 ncUS8z 光栅 k[,0kP; 通用光栅光路图 8@RtL,[d •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, sx}S,aIU 可直接选择特定的光路图。 _uXb>V*8 e`OQ6|.k8
bdG@%K', d ez4g 光栅结构设置 =%7s0l3z •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 P,9Pn)M|
b4WH37,lA •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 '2ZvK •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 y%spI/( L"n)fe$
;_2+Y^Qb )nFyHAy- •例如,选择第一个界面上的堆栈。 z^z`{B r a>2< 堆栈编辑器 _(I6o •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 Hmt2~>FI[ •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 =0 !j"z= egURRC!
#V%98|" y@It#!u0 矩形光栅界面
>]~|Nf/i ^$sqU •一种可能的界面是矩形光栅界面。 2#r4dr0 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 ,isjiy
J •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 Dad$_% •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 mt`CQz"_ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 >#k-
~|w [uLsM<C
q=V'pML [.1MElM 矩形光栅界面 l`i97P?/W •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 e}S+1G6r) •所选界面在视图中以红色突出显示。 )>S,#_e*b
(xRcG+3]; •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ^|]Dg &N. •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 ?s3S$Ih W)/^*,
Q7 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 tiHR&v •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 d]"4aS •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 qc5[e G3%Ju= XNv2xuOc J qq]Iy=
8.Y|I5l7G |E.BGdS 矩形光栅界面参数 )<:TpMdUk •矩形光栅界面由以下参数定义 Y`Io}h G$ - 狭缝宽度(绝对或相对) G0Qw&
mqF - 光栅周期 IhYR4?e - 调制深度 ZcQu9XDIt •可以选择设置横向移位和旋转。 <7`zc7c]# $i5J}
*{!Y_FrL .8Bo5)q$a- 高级选项和信息 X3X_=qzc •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 z+yIP ?s}( •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 .
yg# •可以设置总级次数或衰逝波级次数 RbXR/Rd (evanescent orders)。 %dFJ'[jDL •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 |#kY_d)10 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 b' y*\9Ru f,KB BBbG voRry6Q; v#d\YV{I •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 pUb1#= •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Y}N\|*ye- •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 ~<m^ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 0f.jW O 0)332}Oh =abcLrf2G ?<TJ}("/ 过渡点列表界面 d*0RBgn •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 E,}{ iqAb •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 hx$61E= •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 -}|L<~ ehr-o7]( 1 _?8 OU 过渡点列表参数 iM)K:L7d •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 SG&,o=I$ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ApXf<MAy d8wVhZKI" yu6{ 6[
q"u, Tnc; •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 IMH4GVr" •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 Mh.1KI[t •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 (?7=,A7^ iZ-R%- }B
5@w6pda 1
:p' 高级选项及信息 `$B?TNuch7 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 @MES.g Sfz1p
gEd A
hfx ?,>3uD# 正弦光栅界面 mH&7{2r •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 &Q883A
J •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 ](w)e
p~;3 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: )S g6B;CJ - 脊的材料:基板的材料 nF <K84 - 凹槽材料:光栅前面的材料 L,[Q/$S8 u}[ a ]#)(D-i q? '4& 正弦光栅界面参数 .N X9Ab - 正弦光栅界面也由以下参数定义: M:/NW-: •光栅周期 hCcI]#S& •调制深度 gjDNl/r/
- 可以选择设置横向移位和旋转。 .SD-6GVD - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 >GGM76vB=, A@}5'LzL )@NFV*@I WNGX`V,d 高级选项和信息 IzpE|8l •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 vB8$Qx\J &n6{wtBP
D$hQ-K
8G:/f3B= 高级选项及信息 o$*(N •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 {N4 'g_ L 4j#0I]lq 5n3yc7NPP 锯齿光栅界面 [ohLG_9 •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 IVNH.g' •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 gNB+e5[; 2 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 9 C[~*,qx - 脊的材料:基板的材料 ieZ$@3#&z - 凹槽材料:光栅前面的材料 $6rm;UH *D?=Ts
ihrf/b J!uG/Us 锯齿光栅界面参数 s2O()u- •锯齿光栅界面也由以下参数定义: A8'RM F1 - 光栅周期 f24W*#IX - 调制深度 tbS hSbj •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 ${Un#]g •可以选择设置横向移位和旋转。 @_ %RQO_X •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 TKB8%/_p D$}hoM1 //63|;EEkl YV.' L 高级选项和信息 QX=TuyO •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 ?Lg<)B9
2;v:Z^& 探测器位置的注释
_E C7r>V& 关于探测器位置的注释 syl7i>P •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 //7YtK6 •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 ]?y~;-^ •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 [7I:Dm •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 <2pp6je\0s •可以避免这些干涉效应的不良影响。 Y#F.{i Kv@P Uzu
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