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摘要 z9ZS&=> BD&AtOj[, 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 #-K,," !b'!7p
?/^{sW'
| Q6=>*}Cm6m 本用例展示了...... Zr$D\(hX •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: # &Z1d(! - 矩形光栅界面 2 D!$x+| - 过渡点列表界面 [A#>G4a< - 锯齿光栅界面 /[>zFYaQ - 正弦光栅界面 Jb]22] •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 ZG1 {"J/z 9DaoMOPEI 光栅工具箱初始化 -ei+r# •初始化 SaiYdJ - 开始 okLheF 光栅 uAv'%/ 通用光栅光路图 yvV]|B@sO •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, >on' y+ 可直接选择特定的光路图。 Zie t-@} MFsW
f^ 6da6Z MTeCmFe0; 光栅结构设置 ki9vJ< •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 +M.!_2t$2
7:X@lmBz= •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 4nGr?%> •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 },vVc/
b~Oc:
y\}<N6 ]hlYmT •例如,选择第一个界面上的堆栈。 G-W(giF;NO 1zc-$B`t 堆栈编辑器 'cvc\=p •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 8M7pc{ •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 6x"|,,&MD0 }d 16xp
W0KSLxM lZ5TDS 矩形光栅界面 _`q ei0 CB>O%m[1 •一种可能的界面是矩形光栅界面。 7"$9js 2 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 19;F+%no# •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 MI*@^{G •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 ?8R
•在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 LKI2R_|n #{suH7
>y^zagC* L_ 2R3w 矩形光栅界面 @BS7Gyw •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 BZ>,Qh!J •所选界面在视图中以红色突出显示。 n]J;BW&Av
7g&<ZZo •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 v#Y9O6g]T •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 c`4i#R %XK<[BF •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 9$e6?<`(Y •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 "uHU!)J#z •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 s14; \ L$s;tJ -H
AUKY@;5 j#JE4(&
]>k>Z#8E* iJ 8I#
j+N 矩形光栅界面参数 TH#5j.uUs •矩形光栅界面由以下参数定义 `=rDB7!$yL - 狭缝宽度(绝对或相对) ^+q4* X6VB - 光栅周期 {B+{2;Zk - 调制深度 zHW}A
`Rz •可以选择设置横向移位和旋转。 {_1zIt| WbDD9ZS
PvB-Cqc d@,3P)? 高级选项和信息 ?&GV~DYxA •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 +q@g •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 LFV',1+ •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ?^W`7H F%0 (evanescent orders)。 \' ;zD-MX •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 \)mV2r!% •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 ;,F:.<P @$%[D`Wa< ECEDNib =pR'XF% •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 SYmiDR •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 !BikqTM •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 mYiIwm1cb( •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 2v9T&xo= 1!`B8y) E]IPag8C v^QUYsar 过渡点列表界面 Zfub+A •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 1>e%(k2w% •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 v05B7^1@_ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 %K|+4ZY3 A *_ |/o 3a\.s9A" 过渡点列表参数 T~(AXwaJ •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 u*i[A\Y •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 4c/.#? *{e?%!Q 5u3SP?.& yQM<(;\O •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 =
7TK& •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 mbh;oX+ •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 KOM]7%ys1H y%^TZ[S
i4 Vv6Sx1 H[KTM 'n 高级选项及信息 cKbsf^R[e •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 ??tNMr5{[ Gv uX"J
/ %:%la% c (Gl3^ 正弦光栅界面 Jg\1(ix •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 mrvPzoF,] •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 KJ&~z? X •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: W
n43TSs- - 脊的材料:基板的材料 ?}g#Mc - 凹槽材料:光栅前面的材料 `zZGL&9m` .*>pD/ N)H
_4L V0!.>sX9
正弦光栅界面参数 >'GQB - 正弦光栅界面也由以下参数定义: '5BM*4,:O •光栅周期 h-`*S&mZ •调制深度 auKGm: - 可以选择设置横向移位和旋转。 *f4BD|| - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 [hT|]|fJS; uY~xHV_- Jm(sx'qPx )Ap0" ?q 高级选项和信息 V;}6C&aP. •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 $6 A91|ZSQ A_vf3 *q
3+v+_I>%k
,{_;q: 高级选项及信息 N=X(G( •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 6q!smM 9:l@8^_o }1/`<m 锯齿光栅界面 H#+?)<UQ •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 OVE5:)$x •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 jdF~0#vH •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: Gap\~Z@L - 脊的材料:基板的材料 O)4P)KAO< - 凹槽材料:光栅前面的材料 EhBYmc"& d^Jf(NE0Yo
,n&e,I iA[WDB\|0 锯齿光栅界面参数 tbP
;iK' •锯齿光栅界面也由以下参数定义: MSMgaw? - 光栅周期 &xGcxFd - 调制深度 !] -ET7 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 [$D4U@mRp •可以选择设置横向移位和旋转。 qU) pBA •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 u0vq`5L %O< qw CAPPOh oNfNe^/T 高级选项和信息 07?| "c. •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 8+irul{H_ *A,h^ 探测器位置的注释 F9SkEf]99 关于探测器位置的注释 dgIEc]#pH •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 )|` #BC •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 pM^r8kIH •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 +$YluGEJ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 > $#v\8 •可以避免这些干涉效应的不良影响。 {J}Zv5 Po=@
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