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摘要 E3CwA8)k =
~*Vfx 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 I&&;a. "-IF_Hid
-\Z`+k Y?p ]h`d>#Hw! 本用例展示了...... (\
|Go-2G •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: VYH
$em6 - 矩形光栅界面 0uGTc[^^M - 过渡点列表界面 Efpju( - 锯齿光栅界面 ?l|&JgJ$ - 正弦光栅界面 Xoq - •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 `Xi)';p 9m"EY@- 光栅工具箱初始化 }1a(*s,s-^ •初始化 ['6Sq@c) - 开始 s,|v,,<+ 光栅 eG dFupfz 通用光栅光路图 r. rzU •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, +QSH*(, 可直接选择特定的光路图。 >@-BZJg/k pQ ul0]
f$?`50D"1 &!+1GI9z
光栅结构设置 gEgd/Le •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 *^Z -4
u&f|z9 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 je%y9*V •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 w`/~y
$P #KL//
9'vf2) " z4]z3U<}3] •例如,选择第一个界面上的堆栈。 :prx:7 kFfNDM#D 堆栈编辑器 UnZc9 6 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 dL1{i,M •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 $/E{3aT@F2 Pn?gB}l
XWB#7;,R Q[T)jo,j% 矩形光栅界面 ki?V
eFp A#F6~QX(.9 •一种可能的界面是矩形光栅界面。 =6qSo
@ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 4Le{|B •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 Izfq`zS+\s •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 #zb6 7mg~ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 1 a%1C`d ftV~!r
oRmA\R* [a#*%H{OC 矩形光栅界面 |A=~aQot •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 ^*,?x •所选界面在视图中以红色突出显示。 |Fx~M,Pzg
AG Gxx?I •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 \`*]}48Z •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 i`w&{WTRQ 9G[t
& r •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 SU. $bsu •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 wZj`V_3 •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 e"Tr0k J[\8:qE k+eeVy h~Z:YY)4
B\~(:(OPM] IL%P\Zs 矩形光栅界面参数 YgQb(umK •矩形光栅界面由以下参数定义 TO/SiOd - 狭缝宽度(绝对或相对) aL8Z|* - 光栅周期 ;"NW=P& - 调制深度 #V@vz#bo= •可以选择设置横向移位和旋转。 VF~kjH2>
ypTH=]y
<4"Bb_U h9&0"LHr 高级选项和信息 T^2o'_: •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 @3?dI@i( •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 `pd+as •可以设置总级次数或衰逝波级次数 suN}6CI (evanescent orders)。 #*"I?B/fd8 •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 X/D%
cQ6 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 {YIVi:4q EB
p(^rj H<l0]-S{ K6nNrd}p: •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 TTSq }sb} •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 tG0
&0` •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 <t,lq •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 CmtDfE ~[0^{$rrWs x!fRT.,} ]ia{N 过渡点列表界面 uAV-wc •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 Ro#O{ •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 m3`J9f,c/ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 dF+:9iiAm t<SCrLbz w#>CYP`0k6 过渡点列表参数 )yS S 2 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 2))pB/ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 is{H >#+" bG]?AiWr !Ic~_7" LP}'upv •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 jjg[v""3| •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 Nkk+*(Z •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 &hIr@Gi@ch S|_"~Nd=
KtaoU2s b2hXFwPe 高级选项及信息 S\6.vw!' •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 S8;5|ya |p*s:*TJp
|N5|B Q(y$ vgKdhN2kI 正弦光栅界面 Yo,n#<37 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 I=7 YAm[W •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 69zMWuY •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: b25C[C5C - 脊的材料:基板的材料 UQJ - 凹槽材料:光栅前面的材料 'CvV Ktk `q7X(x DxG8`}+ ;sY n=r 正弦光栅界面参数 [f`7+RHrd - 正弦光栅界面也由以下参数定义: %"AB\lL. •光栅周期 l' Uj"9r, •调制深度 y2>AbrJ - 可以选择设置横向移位和旋转。 R(GL{Dh}L - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 p9~$}!ua gO_d!x* m@g9+7 1m<8M[6u 高级选项和信息 2E@y0[C? •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 Z':w
X {A{sRT=%
MJy(B>< m 8P`n 高级选项及信息 t:tIzFNv •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 XM:\N$tg h&:XO9dY T!t9`I0Zz 锯齿光栅界面 otdm rw| •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 C]ef
`5NR] •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 ulNMqz\. •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 4&G
#Bi - 脊的材料:基板的材料 r!/<%\S - 凹槽材料:光栅前面的材料 f_| =EQ fmv,)UP
d,0Klew W]M Fq5. 锯齿光栅界面参数 B<&g •锯齿光栅界面也由以下参数定义: }KR"0G[f - 光栅周期 G/yYIs - 调制深度 D[3QQT7c •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 %ZGG6Xgw •可以选择设置横向移位和旋转。 B$_-1^L
e •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 `"y:/F"{ gh.+}8=" y`J8hawp B1b9
JS(> 高级选项和信息 |eP5iy wg •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 k;l^y%tzp O+ xzM[[ 探测器位置的注释 b$>1_wTL 关于探测器位置的注释 )Qh*@=$- •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 mQ^SpK # •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 ? w@)3Z=u •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 z(1`Iy
M •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 ricL.[v9S •可以避免这些干涉效应的不良影响。 #S"s8wdD
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