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摘要 !zxq9IhWR (; Zl 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 obw:@i# *}LQZFrnX
#|lVQ@= n4zns,:)/ 本用例展示了...... vw` '9~ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 7wqD_Xr - 矩形光栅界面 ,7e 2M@=
- 过渡点列表界面 *oIKddZh - 锯齿光栅界面 #elaz8 5 - 正弦光栅界面 87nsWBe •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 *kDV ^RBfq :wJ!rn,4 光栅工具箱初始化 *OZO} i •初始化 '`p0T%w - 开始 NO#^_N`#\ 光栅 yAc}4*;T/ 通用光栅光路图 ,]?l(H $x' •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, 5gPAX $j H 可直接选择特定的光路图。 >2)!w I3?:KVa
~0 n9In% X .S8vlb4z 光栅结构设置 ix}*whW=U •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 }Z\+Qc<<
1x|/z,
•在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 dk2o>jI4; •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 o6
[i0S yM34G S=,J
0M>%1* *$>$O% •例如,选择第一个界面上的堆栈。 Y'%_--
]cI(||x 堆栈编辑器 ZZ6F0FLXJ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 d>7bwG+k •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 ; d
> on1mu't_;
e 3>k" +<I1@C 矩形光栅界面 B6vmBmN v6?<)M% •一种可能的界面是矩形光栅界面。 :Zd# }P •此类界面适用于简单二元结构的配置。 =;xlmndT, •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 3'2}F%!Mv •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 ]#
T9v06w •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 N,_ej@L8 iJE|u
[G|2m_ O^gq\X4} 矩形光栅界面 _E[{7"3} •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 $RSVN? •所选界面在视图中以红色突出显示。 Onoi6^G
zR3Z(^]v •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 g^En6n) •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 wGQ{ c#;LH5KI •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 ;h3*MR •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 4/U]7Y •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 n*6',BY .< vg[ 5tl}rmI` zFuUv_t
uf)W?`e~ ?\F ,}e 矩形光栅界面参数 k*c:%vC! •矩形光栅界面由以下参数定义 J0p,P.G - 狭缝宽度(绝对或相对) |:r/K - 光栅周期 "x$S%:p - 调制深度 mLY * •可以选择设置横向移位和旋转。 <p0$Q!^dK= _zmx
v|,H d 16Gv?
I
h 高级选项和信息 X-{:.9 •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 %#QFu/l •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 ^Q :K$! •可以设置总级次数或衰逝波级次数 EShakV (evanescent orders)。 1v\-jM" •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 F5<{-{Ky •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 4l`gAE$ H@j ^, 2aje$w- nG%j4r ; •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 -X}R(.}x •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 wbS++cF< •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 YKc{P"'/| •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 tl^[MLQa $^0YK|F >aWJ+ ? s ewU9* 过渡点列表界面 d<3"$%C •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 \%Smp2K •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 5~"=Fm<uD •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 z0W+4meoH |B`tRq u ?Xku8 1l 过渡点列表参数 T+ t-0k •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 Elq8WtS •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 )nk>*oE >PJ-Z~O'
H5I#/j 0Yjy •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 PYf`a`dH •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 d#tUG~jc •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 (os7Q? FTenXJ/c
WE7l[<b }Tef;8d 高级选项及信息 F3'X •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 ~EM];i fytx({I
.a
^>p [b )AoFd> 正弦光栅界面
k
WtUj •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 p{J_d,JH •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 Vwqfn4sx?i •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: i=a LC*@ - 脊的材料:基板的材料 !!86Sv - 凹槽材料:光栅前面的材料 e`rY]X yi?&^nX@9, B<RONQj_ *^uj(8U 正弦光栅界面参数 |<*(`\'w - 正弦光栅界面也由以下参数定义: ezvaAhd{ •光栅周期 7e<Q{aB •调制深度 D=>^m=?0 - 可以选择设置横向移位和旋转。 3$cF)5V f - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 \PONaRK|[z }BrE|'.j' ka3Z5 20qVzXi 高级选项和信息 h'x~"k1 •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 `[&2K@u \G@6jn1G(
#U}U>4' uLM_KZ 高级选项及信息 VWv0\:,G •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 DV\ei") /8>/"Z2S eeZysCy+DY 锯齿光栅界面 Y(zN •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 jTr4A-" •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 yp^* TD/J •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: =.hDf<U - 脊的材料:基板的材料 61/zrMPn - 凹槽材料:光栅前面的材料 uFWgq::\ %},G(>
X^5"7phI@ L"I] mQvd 锯齿光栅界面参数 jSYg\Z5! •锯齿光栅界面也由以下参数定义: fNPj8\#V, - 光栅周期 S\5k'ifh - 调制深度 0Zh
_Q •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 eF^"{a3b •可以选择设置横向移位和旋转。 ~UC/|t$ •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 wPJRp]FA "D(8]EG= J*!:ar FT>~ES]cQd 高级选项和信息 oB
R(7U~0 •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 B kxhF vGwD~R 探测器位置的注释 sC_UalOC_ 关于探测器位置的注释 s;7qNwYO •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 F^t?*
•如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 !muYn-4M •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 IWo~s •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 H#6^-6;/ •可以避免这些干涉效应的不良影响。 cC^C7AAq^ Jx$#GUl#j
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