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摘要 -~v;'zOO nP4jOq*H 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 AXz'=T}{ ~0t]`<y=
@+:S'mAQC UFm E`|le 本用例展示了...... {Qg"1+hhM •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: C-m
OtI - 矩形光栅界面 $
;~G - 过渡点列表界面 ;0P2nc:U~ - 锯齿光栅界面 j!qO[CJJ - 正弦光栅界面 AAxY{Z-4 •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 b qEwi[` H)G ^ Y1 光栅工具箱初始化 X'IW&^kI •初始化 ?o"wyF A* - 开始 ;Q:^|Fw!F 光栅 7y&Fb 通用光栅光路图 }aRV)F •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, Gnr]qxL 可直接选择特定的光路图。 qi.|oL9p *Ny^XQ_ X
5<<e_n.2q Uz>5!_ 光栅结构设置 z0t6}E<VIR •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 S92'\2
g(7htWr4 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 sT?Qlj'Zd •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 zT6ng# 3o%JJIn&
4^1{UlCop \( LKLlam •例如,选择第一个界面上的堆栈。 KM*sLC# U{q6_z|c 堆栈编辑器 57'=Qz52 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 :@I?JSi •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 (d | y/K% F,WMf
X4>c(1e !u.{<51b 矩形光栅界面 w;vp X> J6;^:() •一种可能的界面是矩形光栅界面。 Z~F% K~( •此类界面适用于简单二元结构的配置。 B08q/qi •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 2mP|
hp? •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 'm# -)R! •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 JAj<*TB.% 6*Qn9Q%p-
ICo_O]
Ke M.1R]x(| 矩形光栅界面 6Ii2rEzD •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 k[R/RhHQ, •所选界面在视图中以红色突出显示。 <~!7? ak
G1
%c<1Y •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 D "j
=|4S# •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
%1 <No/ BoG/Hd.S •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 4JKB6~Y •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 (P~Jzp9u •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 %+|k>?&z7 YiB]}/ 1el?f> St-:+=V_
p%+ 0^]v1 E
`Ualai 矩形光栅界面参数 YR'?fr •矩形光栅界面由以下参数定义 "
E72j. - 狭缝宽度(绝对或相对) M(HU^?B{' - 光栅周期 \)eHf
7H
- 调制深度 *#;8mM •可以选择设置横向移位和旋转。 %/>\`d? 7'S/hV%
T#6'] D s0H_Y' 高级选项和信息 \NhCu$' •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 g9}u6q •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 {S%)GvrT •可以设置总级次数或衰逝波级次数 0*L|rJf (evanescent orders)。 7{RI`Er` •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 $_k'!/5 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 Hj
|~*kG 8A"[n>931 @ v/%^ bR?-B>EB •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 >C+0LF`U •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 v\rOs+.s •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 ?Pw#!t •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 rtvuAFiH twz k^Tu9}[W1 ioi0^aM 过渡点列表界面 [@kzC/Jq3 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 !s.G$ JS< •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 MVjc.^ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ' :g8a=L W0tBF&E" u9:;ft{}N 过渡点列表参数 `PSr64h:D •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 DG8$zl5 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 @_Aqk{3 C+P}R]cT" +
h`:qB |?s%8c'w= •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 vnk"0d. •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 WaWT
5|A •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 (loUO;S= qw%4j9}
Lr)h>j6\ 5Ag]1k{ 高级选项及信息 PfnhE>[>cf •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 ~#I1!y~` J2aA"BhdC"
GPP~*+n Bf1GHnXv 正弦光栅界面 s]L`&fY]O •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 =!U{vT •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 5y=X?hF~) •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: TUy*wp9 - 脊的材料:基板的材料 +;Cq>1x, - 凹槽材料:光栅前面的材料 6 Y&OG>_\ <FS/'[P l3-KswU 3WPMS/ 正弦光栅界面参数 8k_,Hni - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 4DuZF
-y •光栅周期 "kP.Kx! •调制深度 e6sL N - 可以选择设置横向移位和旋转。 &`@,mUi{Ac - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 E'XFn' Nj#!L~^h, Zs+6Zd4f ^Xa-)Pu 高级选项和信息 0R_ZP12 •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 HP]Xh~aP WgE~H)_%
S`0@fieOf &[3y_, 高级选项及信息 _<t3~{qUT •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 eDaVoc3 %3xH<$Gq5 T]CvfvO5 锯齿光栅界面 14oD^`-t •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 a Mv •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 ]NTHit^EX •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: *ArzXhs[ - 脊的材料:基板的材料 Hd;>k$B - 凹槽材料:光栅前面的材料 zc/S ^4s#nf:}
z W+wtYV4 Cc!n`%qc 锯齿光栅界面参数
vf5[x!4 •锯齿光栅界面也由以下参数定义: F<'g6f - 光栅周期 (B$2)yZY - 调制深度 AqN(htGvx •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 jS R:ltd •可以选择设置横向移位和旋转。 )j6S<mn •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 rzqCQZHL5 N66jFRA;x &2QN^)q +pf 7 高级选项和信息 {tWfLfzU •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 ?\c*DNM' $#KSvo{otI 探测器位置的注释 c:=Z<0S; 关于探测器位置的注释 pMX7Rl
•在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 q/4PX •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 g@nE7H1V •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 -$e\m]
}Z •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 zaoZCyJT% •可以避免这些干涉效应的不良影响。 M.|hnGXN #wC4$y<>
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