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摘要 \%BII>VS {(#2G, 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 "@ 1+l& JiN>sEAM
>a%C'H.A9 +%sMd]$,n 本用例展示了...... CNMcQP •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 0Ba*"/U]t~ - 矩形光栅界面 o{[w6^D7 - 过渡点列表界面 4(nwi[1Y - 锯齿光栅界面 y?Cq{( - 正弦光栅界面 ~CX1WPMI: •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 W6^YFN OrPi ("/ 光栅工具箱初始化 T"_f9? •初始化 5do49H_ - 开始 3sD/4 ? 光栅 (Q(=MEar 通用光栅光路图 1[:tiTG|C •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, *G&3NSM- 可直接选择特定的光路图。 ssY5g !% O=
84ZP%
.o(S60iH!( ;Z 6ngS 光栅结构设置 &zV;p •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 $*$X5
6^vz+oN •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 h?7@]&VJ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 XMlcY;W p N+1/m,
B`w@Xk'D 4Ai#$SHLm •例如,选择第一个界面上的堆栈。 ;&9wG` W&=F<n` 堆栈编辑器 <wTD}.n •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 5H!6m_,w •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 |%$mN{ (|dN6M-.K
{?uG] G7 ItxC}qT 矩形光栅界面 |2!cPf^8 |R3A$r#- •一种可能的界面是矩形光栅界面。 Nhrh>x[wJ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 m{?uR.O •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 (5h+b_eB •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 A(1dq •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 i%#
<Hi7 =z4kK_?F,
d>hLnz1O cyXnZs ?| 矩形光栅界面 PzH#tG&.j •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 lG R6S •所选界面在视图中以红色突出显示。 h(gpqSN
Evt&N)l!^ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 F.$NYr/|y •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 glUf.:] ;%mYsQ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 "yf#sEabV •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 q~6((pWi| •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 8/T,.<5 }0
b[/ZwQ EF8'ycJk+ :>o2UH
Bs;.oK5!n@ kpx2e2C| 矩形光栅界面参数 HOb0\X •矩形光栅界面由以下参数定义 =*=qleC3 - 狭缝宽度(绝对或相对) cUD}SOW - 光栅周期 c=u'#|/eb - 调制深度 CAtdx! •可以选择设置横向移位和旋转。 <?Y.w1 ;To][J
$zD}hO9 ~O~R,h> 高级选项和信息 >Ni<itze$i •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 |n*<H| •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 1gh<nn •可以设置总级次数或衰逝波级次数 %Kc 2n9W (evanescent orders)。 ZuVes?&j •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 Xw]L'+V= •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 H-'~c\) .!yw@kg 0})mCVBY <Kt;uu> •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 3}V-'!
•层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 3!2TE - •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 [fl^1!3{ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 9xM7X? HWxwG'EEY, 5|Hz$oU y)D7!s 过渡点列表界面 ^gd[U C-"w •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 Qv/Kb w
N{ •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 6\GL|#G •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 [RFF&uy _H)>U[ $|n#L6k 过渡点列表参数 @`H47@e •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 q<>aZ|r •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
s2;b-0 Dfl%Knl@J V7q-Pfh!y q8[I`
V{ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 mIm.+U`a2 •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 Y=tx
kN •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 ~CQTPR <imIgt|`2
ar[*!:! \A=:6R%Qb 高级选项及信息 mQqv{1 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 1k?k{Ri -$+`v<[r
3PgiV%] 0
V3`rK 正弦光栅界面 iR6w) •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 Y!nxHRE •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 (OT&:WwW •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: kSq1Q#Bxq - 脊的材料:基板的材料 7qT>wCVT - 凹槽材料:光栅前面的材料 NZ=`iA8)X 9>1Gj-S2: )ND%MYJSq flzHZH 正弦光栅界面参数 CF_pIfbaf - 正弦光栅界面也由以下参数定义: G~fM!F0 •光栅周期 UqEpeLK •调制深度 3r]N\c - 可以选择设置横向移位和旋转。 @ZTsl ? - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 +=&A1{kR3 eh5j 41Htsj WZ]f \S 高级选项和信息 [mJmT-> •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 @$ggPrs l1MVC@'pvP
Q /Xo8 kC 高级选项及信息 ">D7wX,.> •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 Od5I:p]N 0}d^UGD TqN4OkCm/ 锯齿光栅界面 .,$<waGD •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 D<:J6W7] •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 `7mRUDz •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: klwNeGF]N - 脊的材料:基板的材料 \WN,. - 凹槽材料:光栅前面的材料 n%Df6zQ<@s G378,H
W{z{AxS oR_qAb 锯齿光栅界面参数 F:B8J4/ •锯齿光栅界面也由以下参数定义: 4UV<Q*B\F - 光栅周期 p3R: 3E6p - 调制深度 5B76D12 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 ]1k"'XG4, •可以选择设置横向移位和旋转。 (yB)rBh>n •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 3j2#'Jf|: U'K{>"~1a ?cRGdLP'D yoc;`hO- 高级选项和信息 y
+2 •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 swGp{wJ eKw!%97> 探测器位置的注释 wTw)GV4 关于探测器位置的注释 *eLKD_D`!C •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 AZgeu$:7p< •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 ccPTJ/%$ •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 CfMCc:8mL •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 7u|X
.X •可以避免这些干涉效应的不良影响。 2uln)] VsJ4sb7
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