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摘要 ![0\m2~iv LW{7|g 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 Nw/4z$].J oDrfzm|[Y
l> W?XH zr-HL:js 本用例展示了...... xKv\z1ra •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: T9}G:6 - 矩形光栅界面 e)zE*9 - 过渡点列表界面 p?>(y - 锯齿光栅界面 g\,pZ]0i - 正弦光栅界面 &&nvv &a •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 :uSo2d pW 2NrBq@w 光栅工具箱初始化 kD8$ir'UYG •初始化 .!/DM-C - 开始 tMR&>hM 光栅 NhU~'k 通用光栅光路图 +? E~F •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, Y[R veF 可直接选择特定的光路图。 HQCxO? <v>^#/.0
!D!~4h) &CpxD."8x 光栅结构设置 "3(""0Q •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 jAie[5
=\"88e;b2
•在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 3"NO"+Q •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 P<ElH3J` m9 o{y6_j*
o^&u?F9 O3/][\ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 6!*be|<& ikX"f?Q;S2 堆栈编辑器 o$;t •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 ^~9fQJNs •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 eyUguA<lK\ @a$_F3W
Kkcb'aDR K|,P 矩形光栅界面 EmNJ_xY t(AW2{%} •一种可能的界面是矩形光栅界面。 wI8 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 b
5<&hN4g •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 <`rmQ`(}s •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 CT1@J-np •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 1y'8bt~7Pf `?E|frz[
o&0fvCpW >cU#($X$^ 矩形光栅界面 _N)/X|=~s •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 !IF]P# •所选界面在视图中以红色突出显示。 gR1vUad7
q)te/J@ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ?1w{lz(P •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 [$M=+YRHMW (KxI* •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 PkX4 ! •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 ]8@s+N •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 VaP9&tWXj D+#OB|&Dn I]Ev6>=; xB-\yWDZe
:j^IXZW M^IEu} 矩形光栅界面参数 K|L&mL&8 •矩形光栅界面由以下参数定义 PWci D '! - 狭缝宽度(绝对或相对) qlSI| @CO - 光栅周期 B|d-3\sn - 调制深度 |BGB60}]f •可以选择设置横向移位和旋转。 <<'%2q5 lCafsIB
CWT#1L= ]31>0yj[Q 高级选项和信息 $40G$w •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 P* X^)R •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 !0-KB# •可以设置总级次数或衰逝波级次数 W(5XcP( (evanescent orders)。 ;k?Z,M: •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 \k4tYL5 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 LV2#w_^I S)LvYOOB@ =csh=V@s J.;!l •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 i%@blz:_Y •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 [~NJf3c" •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 Xwp6]lx •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 :;
z]:d qu\cU(H| >}T}^F e5AZU7%. 过渡点列表界面 Mmmg3%G1 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 e"#QUc( •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 P2Jo^WS •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 MO^Q 8v Ztl?*zL Mz7qC3Z 过渡点列表参数 :6gRoMb] •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 6Y`rQ/F •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 gmqA 5W~y V15/~ ^'%Q>FVb &|-jU+r}B •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 ZH)Jq^^RI •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 A)#w~ X4 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 ~xLo0EV" mE\)j*Nnv
Mfn^v:Q# >P+oNY 高级选项及信息 M!YGv
•同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 A$g'/QM ]u^ybW"
]SAGh|+xl ~Ede5Vg!!2 正弦光栅界面 AC\y|X8- •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 l,6' S8= •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 U;A,W$<9 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: (}5};v - 脊的材料:基板的材料 n/Dg)n? - 凹槽材料:光栅前面的材料 Uw]o9 e0S O2":)zU. *~~J1.ja> ay
=B<|! 正弦光栅界面参数 j115:f - 正弦光栅界面也由以下参数定义: R, #szTu •光栅周期 ]4/C19Fe! •调制深度 n{\d - 可以选择设置横向移位和旋转。 FJqg, - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 Jz4;7/ 'pyIMB?x t%%zuq F` ~# \{'< 高级选项和信息 gL~3z'$ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 \x<,Ma=D IAWs}xIly
&1Y7Ne nXk9
IG( 高级选项及信息 $> ;| •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 E@%1HO_ mE;^B%v bxPJ5oT 锯齿光栅界面 i1X!G|Awfv •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 BUdO:fr •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 M;W&#Fz% •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: M1]w0~G - 脊的材料:基板的材料 "!&
o|!2 - 凹槽材料:光栅前面的材料 0eKLp8;Lh Rqbz3h~
G0kF[8Am <Qr*!-Kc6 锯齿光栅界面参数 ;pS+S0U
•锯齿光栅界面也由以下参数定义: >Hmho' - 光栅周期 j+>[~c;0) - 调制深度 t\]kVo) •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 H]*B5Jv~ •可以选择设置横向移位和旋转。 "$b{EYq6 •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 mE=Tj%+x 4uH}
SG[ {t4':{Y+ cd~ QGP_C 高级选项和信息 's5H_ah •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 @Z7s3b p.<d+S< 探测器位置的注释 eA3NyL 关于探测器位置的注释 bMsThoePT •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 A/&u/?*C •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 CKSs(-hkJ •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 ~[kI![ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 J*zQ8\f=} •可以避免这些干涉效应的不良影响。 [h_d1\ Cr z
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