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摘要 M$O}roOa I!bzvPJ]xc 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 P;jl!o$ b
62 o
p"^^9'`= }9T$ XF~ 本用例展示了...... SF*!Z2K •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: a&YD4DQ05 - 矩形光栅界面 NJ8QI(^" - 过渡点列表界面 dtJaQ` - 锯齿光栅界面 w-Zb($_ - 正弦光栅界面 B.2F\ub g •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 MsOO''o "kyy>H9) 光栅工具箱初始化 ]9z{
95 •初始化 \
B 0xL,o< - 开始 ,sPsL9]$ 光栅 i|u3 Qt5 通用光栅光路图 (bH*i\W •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, k1y&'3% 可直接选择特定的光路图。 [.tqgU Zcd!y9]#
(n7v $A "dwx;E 光栅结构设置 O?Xg%k# •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 L+Q"z*W
<~# ZtD$G •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 Y604peUF •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 W&`_cGoP l= 5kd.{
q[]EVs0$ew d|Wpub •例如,选择第一个界面上的堆栈。 =g'7 xA -)@DH;[tb 堆栈编辑器 *%5#\ I •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 ehj&A+Ip •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 K9 5}gcJjz
#9z\Wblr vvw6 GB,M 矩形光栅界面 ewB&PR reLYtv •一种可能的界面是矩形光栅界面。 0+IJ, ;Wx •此类界面适用于简单二元结构的配置。 SFKW"cP •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 &s_O6cqgh •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 \>nPg5OT •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 )ARfI)<1b cF_`m
[0N==Ym1 !I5_ln 矩形光栅界面 O?NAbxkp •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 LoUi Yf •所选界面在视图中以红色突出显示。 esmQ\QQ^1
(qHI>3tpY •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ;hNnF&l •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 JE,R[` & "XMTj <D •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 X4*{CM •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 C/%umazP9 •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 8m1@l$ A:[La#h|p a_'W1ek-@ [~?LOH
ON _uu]= yyxGVfr 矩形光栅界面参数 1eI>Yy>} •矩形光栅界面由以下参数定义 ^Qz8`1`;Z - 狭缝宽度(绝对或相对) @5Q}o3.zA- - 光栅周期 NZYtA7 - 调制深度 3(%hHM7DM •可以选择设置横向移位和旋转。 sxJKu \\
M2_mT
-QCo]:cp g*\u8fpRq 高级选项和信息 vp &jSfQ^ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 ?I)-ez •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 +SkD/"5ng •可以设置总级次数或衰逝波级次数 gE(QVbh( (evanescent orders)。 )ruC_) •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 G+AD
&EHV •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 o\h[K<^>) ja70w:ja d|]F^DDuI r Y|'<$wvg •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 #*#4vMk< •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 6%C:k,Cx{d •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 D<5)i)J" •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 }q T @. "R+
x xZPSoxu c>{X(Z=2 过渡点列表界面 1F-o3\ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 nCh9IF[BL/ •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 IB
/.i( •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ?2OT :/ I, tc\LK_@$/F % ~J90a 过渡点列表参数 n'7 3DApW •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 uDK`;o'F •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 I:uxj% $iDatQ[ 3X*;.'#Z D; H</5#Q •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 IK(G%dDw •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 G{}E~jDi? •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 BqP:] )Ac8'{Tq/
9z\q_0&i XJ?|\=] 高级选项及信息 e'(n ^_$nl •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 ?,]%V1(@V` u9"b,].b
;5ugnVXu 5&v'aiWK 正弦光栅界面 )NRY9\H •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 G%;XJsFGp •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 @jN!j*Y H •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: X&MO} - 脊的材料:基板的材料 g$ZgR)q - 凹槽材料:光栅前面的材料 7on$}=% HGfYL')Z k^z)Vu|f. ] $$ciFM 正弦光栅界面参数 JVwYV5-O<0 - 正弦光栅界面也由以下参数定义: .
Uv7{( •光栅周期 f,d @*E •调制深度 \yNjsG@, - 可以选择设置横向移位和旋转。 44f8Hc1g - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 s) u{A :IV4]` [WXtR I|m fr{ 高级选项和信息 Xp1xhb*^ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 g~h`wv' ]x:>~0/L
}C"EkT!F ymY,*Rb 高级选项及信息 8^\DQ&D •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 &.an- 0?BT* %FT F 锯齿光栅界面 K7M7T5< •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 lEQ63)Z •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 gdSv)( •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: |q^e&M< - 脊的材料:基板的材料 Bqv Oi~l - 凹槽材料:光栅前面的材料 Lx8^V7X uKo)iB6D
\! Os!s &sR{3pC} 锯齿光栅界面参数 tQ5gmj •锯齿光栅界面也由以下参数定义: ^(V!vI* - 光栅周期 vpvPRwJ - 调制深度 <'v?WV_ •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 W!4GL>9m}A •可以选择设置横向移位和旋转。 yf*MG&} •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 *ls}r5k2Y dZ9[w kn E+dr\Xhv zc'!a" 高级选项和信息 MM|&B`v@; •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 Q5;Km1( 9j49#wG0"B 探测器位置的注释 wHWd~K_q 关于探测器位置的注释 7Nh6 ` •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 zbddn4bW9 •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 ZWG$MFEjl •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
8yOzD •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 :)g=AhBF •可以避免这些干涉效应的不良影响。 r,2x?Qi N12K*P[!
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