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摘要
K~| 4[\ Mw;sLsu 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 FSA1gAW6g
%*L:sTj(
p{j.KI s7 c1E'$-
K@ 本用例展示了...... PEc=\? •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: j'HZ\_ - 矩形光栅界面 njWL U! - 过渡点列表界面 `pGa~!vl - 锯齿光栅界面 _tYx~J2.Q - 正弦光栅界面 7eV
di* •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 eep1I
:N 'LO^< 光栅工具箱初始化 `#;e)1 •初始化 R5X.^u - 开始 ,uSQNre\j 光栅 B Z?.D_bu 通用光栅光路图 hMykf4 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, d%V*|0c) 可直接选择特定的光路图。 H*$jc\
dC IX>d`O61*g
=*r])Vg^ Aj+2;]M 光栅结构设置 gk0( ANx •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 5'X ]k@m_
1$p2}Bf{n •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 @Bf%s(Uj+ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 *%S"eWb pQtJc*[!
q)^Jj?W PqiB\~o@Z •例如,选择第一个界面上的堆栈。 f7X6fr< qa0 yg8,< 堆栈编辑器 g.zEn/SM •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 FXi{87F2 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 Nw1#M%/!r! Stu4t==U
+h r@#n4A Is{KN!Hw 矩形光栅界面 5a hVeY vJ-q*qM1 •一种可能的界面是矩形光栅界面。 LQngK7> •此类界面适用于简单二元结构的配置。 $D|e>U •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 3tZ]4ms} •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 2gCX}4^3b •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 s#)5h0t#du +/)#( j@
5sx1Zq7 .U?'i< 矩形光栅界面 oaoU _V •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 gT#&"aP5S •所选界面在视图中以红色突出显示。 dAkgR~
>76\nGO •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 4:dH] •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 `O[};3O& w(/aiV •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 CkdP #}f •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 o'f?YZ$. •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 7:)n$,31FW 8p@Piy{p p%*%n3bw r0 ,:J
pJt,9e6 n=c
2Kc 矩形光栅界面参数 q(.:9A*0 •矩形光栅界面由以下参数定义 "F.;Dv9V[0 - 狭缝宽度(绝对或相对) vfE6Ggz
- 光栅周期 -/ g B|J - 调制深度 G}:lzOlMH •可以选择设置横向移位和旋转。 5[YDZ7g"~ -1UD0(
#7q7PYG4 @]-jl}:] 高级选项和信息 E~gyy]8& •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 VI'hb'2 •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 ,kF}lo) •可以设置总级次数或衰逝波级次数 Gr^E+#; (evanescent orders)。 b7wvaRe. •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 fH> NJK; •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 $l|qk z 0QOBL'{7) =aoMii S7L=#+Z •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 p~,]*y:XT •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 dK2p7xo •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 ~?FpU •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 ^]a #7/]o li 6%) nEkR1^30 zOa_X~!@ 过渡点列表界面 _G.>+!"2/
•另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 <-D0u?8 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 %^>ju;i^O •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ktdW`R\+ /S(zff[at HAJ 7m!P 过渡点列表参数 HO}Hh[{V9 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 (m:Zk$ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 {'2@(^3 _cJ2\`M pD01,5/ 2U:H545]] •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 bdibaN-h •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
S4h:|jLUF •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 \u>"s )l[M
Q4vWW
d~`x )B( mA*AeP_$ 高级选项及信息 f'aVV! •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 T|dY
2 .NvQm]N0.
PUBWZ^63 'toa@5 正弦光栅界面 +{W>i; U •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 (Xq)p y9 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 vL\&6n~M> •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: TT4./R: - 脊的材料:基板的材料 L.1_(3NG - 凹槽材料:光栅前面的材料 lobGj8uxq d\61;C NNE<L;u Tp-l^?O-p 正弦光栅界面参数 3`ELKq - 正弦光栅界面也由以下参数定义: !>e5z|1 •光栅周期 ,>eMG=C; g •调制深度 krC{ed - 可以选择设置横向移位和旋转。 ~D5\O6mU- - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 lq> +~zX{ OZTPOz. nZ@&2YPlem 7"w2$*4 '0 高级选项和信息 %_{tzXim •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 `}lJH i "E8zh|m o
1!1beR] `(f!*Ru@/z 高级选项及信息 I{lT> go •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 zSSB>D I-WhH>9 k7>|q"0C 锯齿光栅界面 y6IXd W •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 FcRW;e8- •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 )YX 'N<[ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: |iR T!
] - 脊的材料:基板的材料 $T`<Qq-r - 凹槽材料:光栅前面的材料 ewfP G,S N^pJS6cJkl
:bWUuXVtJ Q`rF&)Q5 锯齿光栅界面参数 &%s8L\? •锯齿光栅界面也由以下参数定义: -|Y(V5] - 光栅周期 ;B?DfWX - 调制深度 Gu'rUo3Do •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 9$Xu,y •可以选择设置横向移位和旋转。 cu% C" •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 o4%y>d) GHsilba ;Ww7"-=sw
l"!Ko G7 高级选项和信息 )@L'wW •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 #ssN027 XP1~d>j 探测器位置的注释 F@* +{1R 关于探测器位置的注释 Ci<ATho •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 *3&fqBg •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 c{&*w")J •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 8S<@"v •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 KM!k$;my •可以避免这些干涉效应的不良影响。 >zhO7,=, Ojt`^r !V
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