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摘要 6%S>~L66 g8kw|BgnL 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 =As'vt
0 SgXXitg9+ FeV=4tsy 1. 建模任务 h]EXD Tao lX*$5 2. 干涉条纹的变化 0[3b, * n!0 G|O"Kv6 3. VirtualLab Fusion概览 D"x~bs?V\ Z<,gSut'Y T)C 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 T[Gz 设置输入场 e9B, - Basic Source Models [教程视频] g<.8iW 'c 定义组件的位置和方向 N ZlJ_[\$C - Basic Source Models [教程视频] bfpW^y 正确设置通道以进行非顺序跟踪 T!a8c<'V - Basic Source Models [使用案例] !-MG"\#Wq 使用参数运行检查影响/变化 B!tte) - Usage of the Parameter Run Document [用例] 4|+
|L_ ;,4J:zvZdQ
Y#t"..mc' >8AtT=}w 5. VirtualLab Fusion 技术 *E.
2R{ Og*1pvN<
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