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摘要 4qz+cB_ lKw-C[ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 .}/8] |$b8(g$s) _FYA? d} 1. 建模任务 Z3weFbCH 6e rYjq 2. 干涉条纹的变化 cZQ8[I L7Hv) ",.f
3. VirtualLab Fusion概览 8W{M}>;[9 O-X(8<~H= VaY#_80$s 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 @t~y9UfF 设置输入场 h AAh - Basic Source Models [教程视频] mLqqo2u 定义组件的位置和方向 E<Zf!!3 - Basic Source Models [教程视频] zXx/\B$&d* 正确设置通道以进行非顺序跟踪 X2@Ef2EkM - Basic Source Models [使用案例] C[<}eD4bV 使用参数运行检查影响/变化 a1~|?PCbY - Usage of the Parameter Run Document [用例] rP3tFvOH 1oej<67PdJ
6qHD&bv\%C X7huc* 5. VirtualLab Fusion 技术 wKLYyetM! j*<J&/luYZ
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