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摘要 {E A1vo" $A2n{ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 p@~ic#X Y-)xTn VT\"q1)p 1. 建模任务 s$w;q\1z 3Bd X 2. 干涉条纹的变化 ;),"M{"v ^{F_a "l7NWqfB 3. VirtualLab Fusion概览 eF~dQ4RZ =2Cj,[$ x|i_P|Z 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 m&*JMA;^ 设置输入场 I9?Ec6a_ - Basic Source Models [教程视频] Fh8lmOL;? 定义组件的位置和方向 w(9*7p p - Basic Source Models [教程视频] ;"kaF! 正确设置通道以进行非顺序跟踪 t$J.+} }I - Basic Source Models [使用案例] T 2F6)e 使用参数运行检查影响/变化 %Ip*Kq- - Usage of the Parameter Run Document [用例] W/fuKGZi_ y7/F_{
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