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摘要
AQ'~EbH( NIQNzq?a^ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 q: ?6 j@&F[ r m80Q Mosp 1. 建模任务 rcY[jF e#<%`\qH 2. 干涉条纹的变化 j^Bo0{{ 5O]ph[7 mj{TqF 3. VirtualLab Fusion概览 m!tB;:6 }3V Q*'X>i >#)^4-e 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 CM!bD\5 设置输入场 PL%U - Basic Source Models [教程视频] pbl;n| 定义组件的位置和方向 K.JKE"j)d - Basic Source Models [教程视频] mXAX%M U 正确设置通道以进行非顺序跟踪 4pduzO'I - Basic Source Models [使用案例] ;SagN 使用参数运行检查影响/变化 9V9K3xWn - Usage of the Parameter Run Document [用例] HX7"w
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~Yb5FYE &) T5V 5. VirtualLab Fusion 技术 +j%!RS$ko x32hO;
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