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摘要 B|$o.$5 ME]89 T& 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 (RG "2I3 -m>3@"q U,6sR 1. 建模任务 *f>\X[wN WDV=]D/OE 2. 干涉条纹的变化 /7p(%vr HyKA+7} ~ QohP`_ 3. VirtualLab Fusion概览 T:2f*!r }m5()@Q}a "XLtrAu{ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 >b5 ;I1o=y 设置输入场 :?FHqfN?_ - Basic Source Models [教程视频] z\8s |! 定义组件的位置和方向 Pi9?l> - Basic Source Models [教程视频] /cUu]#h 正确设置通道以进行非顺序跟踪 `VUJW]wGu - Basic Source Models [使用案例] 4(oU88z 使用参数运行检查影响/变化 )8 aHj4x - Usage of the Parameter Run Document [用例] H8dS]N~[Y Sj|tR[SAoD
soQ[Zg4} g"m9[R=]6 5. VirtualLab Fusion 技术 LYd:S ^EkxZ4*g
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