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摘要 nY6^DE2f lc*<UZR 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 (_d^iZyf [1N*mY; 0"ZRJl<)[I 1. 建模任务 L"AZ,|wIk 7ZN0_Qs 2. 干涉条纹的变化 O)W1.]GMbf pwm]2}+ /Wt<[g# 3. VirtualLab Fusion概览 ab6KK$s 1}'|HAu Z5+qb 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 BaqRAO7 设置输入场 UE*M\r< - Basic Source Models [教程视频] edA.Va|0 定义组件的位置和方向 X+iUT - Basic Source Models [教程视频]
d':c 正确设置通道以进行非顺序跟踪 F(mm0:lT - Basic Source Models [使用案例] I>:M1Yc0 使用参数运行检查影响/变化 q*52|? - Usage of the Parameter Run Document [用例] 3PPN_Z $O=m/l$
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