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摘要 e%bERds Tc:W=\ < 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 yN3Tk}{V d@At-Z~M xOT'4v&. P+}qaup 设计任务 !+uMH! 8.pz?{**T $:u,6|QsS= TP{a*ke^5, =V5.c+ 光栅特性与参数的严格分析 :VN<,1s9p^ `zzX2R Je 不同光栅周期的衍射效率 MCh8Q|Yx4 ~;eWQwD d`~#uN { )sV#
b 考虑光栅周期的选择 G)#
,39P tB_ V%qH e982IP 偏振相关衍射特性 -m|b2g}"3 yN>"r2
o B6"D ZC2C`S\xr 偏振相关衍射特性 yQi|^X~?$ ?>%u[g
Z$ftG7;P0 =\XAD+ 偏振相关衍射特性 U~H'c
p 21o_9=[^ "L8V!M_e Q|ik\ 基于参数优化的光栅设计 Tb y+Pd; Ra{B8)Q 具有固定周期的二维参数优化 0H>Fyl2_ l4/TJ%`MG
8W$="s2 二维参数优化 - 设计#1 VBH[aIW 3Aj_,&X.@(
rqF PUp /6q/`vx@ 二维参数优化 - 设计#2 g$ 2M|Q &)X<yd0
rmabm\QY i;xg[e8. 制造公差分析 - 设计#2 JxLH]1b
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cbwzT0 3FXMM&w 不同光栅周期的三维参数优化 d|o"QYX pbzbh&Y
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