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摘要 Xv< B1 -:30 :oq 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {Z3dF)> +x_Rfk$fb  ^xh}I5 z |a sa* 设计任务 <@}I0 Sp7ld 7c  | ;.o8} CamE' BZud) l24 光栅特性与参数的严格分析 PUo/J~ v F#5B <I 不同光栅周期的衍射效率 %CS@g.H=_ S/Fkw4%  OR}c)|1 356>QW'm 考虑光栅周期的选择 {Z h>mHW3 K$ M^gh0  N@O8\oQG 偏振相关衍射特性 %Eb%V ($ 1AG=%F|.
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* Ho/ZYj3 偏振相关衍射特性 Kw8u`$Ad7
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 fO0(Z Q3|T':l4 偏振相关衍射特性 }?z@rt^ R2(3 >`FJ  DyeQJ7p
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{ tV 基于参数优化的光栅设计 4'-|UPhx Si_%Rr&jW 具有固定周期的二维参数优化 taFn -1ce<nN 二维参数优化 - 设计＃1 O!Oumw,$ wk6NG /<
 yaG= j YO}1 (m 二维参数优化 - 设计＃2 hGbj 0 :6zG7qES3
 td4[[ / ax{ ;:fW 制造公差分析 - 设计＃2 c)A {p HsnLm67'
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