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摘要 7 &Aakl arJ[ .f9s 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 P.0-( MRc^lYj{
 NR5A"_' 4w,}1uNEf 设计任务 M}>q> 2S tpcAlU}  TH-^tw 6~s,j({^ Jz6PqU|= 光栅特性与参数的严格分析 1 /`>Eh #LZ`kSlv4 不同光栅周期的衍射效率 VO9<:R ? g&]*zc^\  >cp9{+#f *VU Xw@ 考虑光栅周期的选择 =% p"oj]: LLE~V~j  vlD]!]V:h 偏振相关衍射特性 1\2 m'o qhtc?A/0}
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