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摘要 j6<o,0P \`3YE~7J/ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 /NRdBN zzOc
# / <^>O<P:v C3 >X1nU 设计任务 40,u(4.m* a{*r^m'N i i&kfy trD-qi S9BwCKH 光栅特性与参数的严格分析 AmYqrmJ rC
)pCC 不同光栅周期的衍射效率 O#Y;s;)i" :: IAXGH) h# R;'9*V 4rkj$ 考虑光栅周期的选择 JAPiR= 0'&N?rS n:QFwwQ`Q; 偏振相关衍射特性 4#D=+70' K(bid0Y
es]S]}JV ErZYPl 偏振相关衍射特性 `s[77V> ]M2<b:yo
>IZ|:lsxE g Mhn\ 偏振相关衍射特性 :
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wZ:d 79}voDFd 基于参数优化的光栅设计 c j-_ F"2rX&W 具有固定周期的二维参数优化 t4HDt\}&k~ v(Vm:oK,
[Ol}GvzJ7 二维参数优化 - 设计#1 M? 7CBqZ 2oL~N*^C
&+"-'7 AH?T}t2 二维参数优化 - 设计#2 sT&O %( bD*z"e
VE_% /Fs, fMg3 制造公差分析 - 设计#2 mC-'z lawjGI
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~lg1S 不同光栅周期的三维参数优化 W=Y?_Oz b
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