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摘要 ]JvZ{fA%* WR5W0!'Tf 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M TOZ:b ~?<VT
k =5u;\b>* /6yH ,{(a 设计任务 >@uF ye$ = @n `5g FC
}r~syqA /\u1q< w i=&W 光栅特性与参数的严格分析 ]B=2r^fn 8c5%~}kG 不同光栅周期的衍射效率 |jJ9dTD8/ JxLSQ-" H:!pFj >v1ajI>O&{ 考虑光栅周期的选择 B(qwTz 51 &.)ST0b4 9KDm<Q-mf 偏振相关衍射特性 8s)(e9Sr 9f_Qs4
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i f ! #Pe|}!)u 偏振相关衍射特性 DE!P[$J 08F~6e6a8 k btQ b_>x;5k 基于参数优化的光栅设计 <-O^ol,fX S/)yi 具有固定周期的二维参数优化 Ys+NIV#Q NkY7Hg0
JHCXUT-r{ 二维参数优化 - 设计#1 ;$/]6@bqB 4d;.p1ro
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R&FO-{S lOu&4Kq{g 制造公差分析 - 设计#2 U}^`R,C rYPj3!#
pz,iQUs_o G}#p4\/ 不同光栅周期的三维参数优化 2"8qtG`Et -E>LB\[t)
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