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摘要 "w&G1kw5I P$i d? 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =z4kK_?F, Oi4y~C_Xd  4l? "zv1 - F&*>?I 设计任务 Dssecc' ^G C 8^f  VRA0p[ _i pY; RxUz J 光栅特性与参数的严格分析 ZIp"X &Xp <%[:
不同光栅周期的衍射效率 s s'`[QhR2 l'FNp  ;o ivG)hJl :d} @Z}2sD 考虑光栅周期的选择 )^]1j$N=3 u Tvck6  Af X lV-v 偏振相关衍射特性 HOb0\X rssn'h
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B`/p[ U5 基于参数优化的光栅设计 C,G $C7$% f{ER]U 具有固定周期的二维参数优化 ,_!MI+o0
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CQ 7 制造公差分析 - 设计＃2 G;yh$n<" Ika(ip#]=
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