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摘要 9'@G7*Yn Ty#sY'% 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Sh?eb 5>ktr)] Nr).*]g@~ Vhr 6bu] 设计任务 mI]gDL1 ]&dPY[~,/i ?'tRu !~ be$']}cP 1N<n)>X4
光栅特性与参数的严格分析 *LuRo ` U-vXP 不同光栅周期的衍射效率 G*jq5_6 n{&;@mgI M?GkHJ %! p#_5w 考虑光栅周期的选择 X{<taD2~ ayQeT Hsd76z#8 偏振相关衍射特性 B^/k`h6J B9%%jEH*
uPjp5;V 3s67)n 偏振相关衍射特性 F^`+.G\ xGOVMo
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*M_^I)*L M{)&SNI*C 偏振相关衍射特性 Y=g]\%-PB /Ov1eQBNG zqBzataR:
sFnR; 基于参数优化的光栅设计 E31YkD.A E!BzE_|i 具有固定周期的二维参数优化 L]u^$=rI S#r|?GYua
;(A- 二维参数优化 - 设计#1 )!caOGvhJ Pai8r%Zfu
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IV1Y+Z ) 57 Bx- 制造公差分析 - 设计#2 ,D]g]#Lq YbnXAi\y|
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