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摘要 M96Nt&P` sDvy(5 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ac,<+y7A r3Kx
rM4Ri}bS xouBBb= 建模任务 /eBcPu"[Vb ;Za^).=
-M+o; |RBL5,t^ 1阶的参数优化 "AlR%:]24~ [U$`nnp
mC$ te M=fhRCUB 结果-容差分析 ~iIFe+6 VrKLEN\
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<J]N E|: !-7<x"avm 在VirtualLab Fusion中查看 .B!L+M< [ u$
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N %+dRjG~TB VirtualLab Fusion的工作流程 t4p-pH'9b BOl*. t •构造光栅结构 AY]rQ:I - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] m[w~h\FS - 倾斜光栅的高级配置[用例] 'h>l_A •分析光栅衍射效率 [C3wjYi - 光栅级次分析器[用例] }]pO R&o •使用参数优化优化光栅参数 cr!s q.)s •使用参数运行进行容差分析 $wcV~'fM - 参数运行文档的用法[用例] r3YfY\ 2bf#L?5g/
3P*"$ fH V^\b"1X7N VirtualLab Fusion技术 |vj!,b88n# R;w1& Z
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