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摘要 jS,zdJs= M;i4ss,}! 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 iqj
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u$Za hN! <A,G:&d~ 在VirtualLab Fusion中查看 ]eJjffx ]c8O"4n
n Q7]VB p4 :W/,V^x} VirtualLab Fusion的工作流程 F+`DfI]/m 0-^wY8n-= •构造光栅结构 [akyCb - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 2HNH@K - 倾斜光栅的高级配置[用例] ]g/%w3G •分析光栅衍射效率 "/)}Cc,L - 光栅级次分析器[用例] C(-bh]J •使用参数优化优化光栅参数 S:UtmS+K •使用参数运行进行容差分析 xpf\S10e - 参数运行文档的用法[用例] bm{L6D E {GS7J
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