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摘要 W#_/ak$uF* F}Mhs17!| 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 @#+jMV$g 5yh/0i5 |
G@!z$ f<i7@% 建模任务 N5|Rmfo1 CR4rDh8z a
O|kKwadC B UUf;Vv 1阶的参数优化 ~>G]_H]? WV;=@v
[{[N( g&d W:&R~R 结果-容差分析 NX* O_/ {hSGv
S6nhvU: u%|zc= 结果-容差分析 ,7]k fB E
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7&}P{<}o^ lYf+V8{ 在VirtualLab Fusion中查看 ~ <0Z>qr oR+-+-??$ 1.@vS&Y7OE
R)Q4 VirtualLab Fusion的工作流程 V|Tud ,cTgR78' •构造光栅结构 S{F-ttS" - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] /k\01hc` - 倾斜光栅的高级配置[用例] =Je>`{J •分析光栅衍射效率 (Ha@s^?.C - 光栅级次分析器[用例] H(+<)qH •使用参数优化优化光栅参数 =Cf] •使用参数运行进行容差分析 ,a|@d}U - 参数运行文档的用法[用例] iMP ,1n
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khd5 Cf[ Z%o7f6P0IX VirtualLab Fusion技术 ={(j`VSUX0 XaI;2fMGI
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