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摘要 3V,X= Q/0}AQO 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 }Efp{E !!` zz
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$G=\i>R. "4r5 n8 在VirtualLab Fusion中查看 ~ 4&_$e! heh!cDK i.fDH57 q].C>R*ux8 VirtualLab Fusion的工作流程 QZwRg&d<o N Z.aI{ •构造光栅结构 \64(`6> - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] fnXl60C% - 倾斜光栅的高级配置[用例] }B]FHpi •分析光栅衍射效率 \SMH",u - 光栅级次分析器[用例] %Z}dY~: •使用参数优化优化光栅参数 xt`znNN •使用参数运行进行容差分析 zZE?G:isR - 参数运行文档的用法[用例] 5hDE&hp 1hMk\ -3S
s5z@`M5'm gjs-j{* VirtualLab Fusion技术 >>!+Ri\@ mybDK'EW
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