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摘要 Zw3hp,P] 3JwSgc b 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 p{('KE) U"jUMOMZ;
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0|f_C3 G5X|JTzpu< 在VirtualLab Fusion中查看 }b\ipA,~ d-_93 7D9h;gsP {#d`&] VirtualLab Fusion的工作流程 \f<thd*bC u8$~N$L •构造光栅结构 NR@SDW - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] .5$V7t.t$\ - 倾斜光栅的高级配置[用例] ;9- 4J •分析光栅衍射效率 P89Dg/P - 光栅级次分析器[用例] !*$'fn'bAA •使用参数优化优化光栅参数 hyr5D9d •使用参数运行进行容差分析 iI/'!85 - 参数运行文档的用法[用例] TO;]9`~;Mu %'p|JS
'~!l(&X q0xE&[C[M VirtualLab Fusion技术 xf3/<x!B )l/C_WEK
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