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摘要 *uf)t,% RgJbM\`}? 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 S'W,AkT Q672iR\#)
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&0\:MJc Y`{62J8oy 在VirtualLab Fusion中查看 7I#C[:7x }* }F_Y+ _-TW-{7bh maY.Z<lN VirtualLab Fusion的工作流程 RticGQy&5 uDkX{<_Xe •构造光栅结构 Ba5*]VGG - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] t 4zUj%F - 倾斜光栅的高级配置[用例] W)J5[p? •分析光栅衍射效率 reArXmU<u - 光栅级次分析器[用例] 9}a$0H
h •使用参数优化优化光栅参数 iAk.pH]a •使用参数运行进行容差分析 s8 MQ:eAP - 参数运行文档的用法[用例] rc<Ix J$5G8<d>
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