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摘要 JhP\u3 QE 6e.[,-eU 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 hF>u)%J/S G?xJv`"9iC
OhFW*v gi$XB}L+X 建模任务 ;&S;%W>| u okc:D
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?lKhzH.T ?JXa~.dA 在VirtualLab Fusion中查看 Y3rt5\! +~35G:&: D(\$i.,b2 `q_<Im%I VirtualLab Fusion的工作流程 suVmg-d ;dZMa]X0 •构造光栅结构 ,b|-rU\ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] zK;XFN#U^ - 倾斜光栅的高级配置[用例] fYX<d%?7 •分析光栅衍射效率 ppN} k)m - 光栅级次分析器[用例] qZ+H5AG2 •使用参数优化优化光栅参数 Md&WJ
};L •使用参数运行进行容差分析 f~ U.a.Fb - 参数运行文档的用法[用例] z9
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VirtualLab Fusion技术 J^
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