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摘要 #L+s%OJ` TF([yZO' 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 "_% 0|; RIVN>G[;L
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fPuQ,J2= -QHzf&D? 在VirtualLab Fusion中查看 -iZ js neMe<jr =S?-=jPtg SUQ}^gn] VirtualLab Fusion的工作流程 7E84@V[\ ?2bE=| •构造光栅结构 oCru 5F - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] )~o`QM+ - 倾斜光栅的高级配置[用例] o@V/37! •分析光栅衍射效率 0a;FX0S& - 光栅级次分析器[用例] GmWQJY X\ •使用参数优化优化光栅参数 ~'YSVx& ) •使用参数运行进行容差分析 W9V=hQ2 - 参数运行文档的用法[用例] !*QA;*e 0O9
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