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摘要 y2%[/L:u~ Gad&3M0r 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 T>|+cg oItC;T
nkq{_;xp ?z`yNx6 建模任务 UHY)+6qt] >a@1y8B
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[$M"} lxTqGwx 1阶的参数优化 >CCy2W^W XPYf1H
PJb/tKC v'L"sgW6I 结果-容差分析 SFWS<H(IN @ &c@
\U]<HEc^ M|{KQ3q:9 结果-容差分析 7T X$ K0*er
fNr*\=$ aS3-A4 在VirtualLab Fusion中查看 <O9WCl W[!bF'-10 _58&^:/^ W*c^(W VirtualLab Fusion的工作流程 Rv*x'w
== R{4[. •构造光栅结构 l5e`m^GK - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] i+-Y"vRi - 倾斜光栅的高级配置[用例] gO~>*q & •分析光栅衍射效率 tchpO3u, - 光栅级次分析器[用例] .:['&; k •使用参数优化优化光栅参数 bB.nevb9p •使用参数运行进行容差分析 #$t93EI - 参数运行文档的用法[用例] S r7EcT- az:lG(ZGw
A|L-;P NP +/*A}!#v VirtualLab Fusion技术 Z;U\h2TY A-hWg;
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