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摘要 K5SP8<. B!zqvShF 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 6%RN- Y;6%pm $
-C<Ni yCOIv!/zy 建模任务 f:|O);nM ('VHL!
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,dO$R.h @*rED6zH 在VirtualLab Fusion中查看 XTOZ]H*^ oK3aW6 2>bV+[@B `DPR >dd@ VirtualLab Fusion的工作流程 t[-0/-4 ,@'M'S •构造光栅结构 1KtPq, - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] p~xrl jP$ - 倾斜光栅的高级配置[用例] bn$}U.m$- •分析光栅衍射效率 >7^+ag~& - 光栅级次分析器[用例] 'o*:~n •使用参数优化优化光栅参数 {k}EWV •使用参数运行进行容差分析 8xEOR!\!`k - 参数运行文档的用法[用例] %g<J"/ j2/3NF5&
2!4.L&Ki U~w g' VirtualLab Fusion技术 4Dd7I VI(;8
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