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摘要 0_-NE4SM/ ~f>km|Q{u 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 _LSf
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A1 NH5 SLG3u;Ab 在VirtualLab Fusion中查看 }PDNW 55T c p94 w0_m@| w oS I
2i VirtualLab Fusion的工作流程 Z,osdF BSu
]NOwe •构造光栅结构 WSW,}tFp" - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 4h[^!up.7 - 倾斜光栅的高级配置[用例] o!+jPwEU •分析光栅衍射效率 c);(+b - 光栅级次分析器[用例] 7 n=fB#!*3 •使用参数优化优化光栅参数 [!E8 C9Q#! •使用参数运行进行容差分析 -Fj:^q:@u - 参数运行文档的用法[用例] B3^4,' Ag`:!*
j.@TPf* %r*zd0*<n1 VirtualLab Fusion技术 _ADK8a6%) {s=$.Kg
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